針對(duì)晶圓切割過(guò)程中的靜電防護(hù)問(wèn)題,中清航科的設(shè)備采用全流程防靜電設(shè)計(jì)。從晶圓上料的導(dǎo)電吸盤(pán)到切割區(qū)域的離子風(fēng)扇,再到下料區(qū)的防靜電輸送軌道,形成完整的靜電防護(hù)體系,將設(shè)備表面靜電電壓控制在50V以下,有效避免靜電對(duì)敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力,內(nèi)置數(shù)據(jù)挖掘模塊可對(duì)歷史切割數(shù)據(jù)進(jìn)行深度分析,識(shí)別影響切割質(zhì)量的關(guān)鍵因素,如環(huán)境溫度波動(dòng)、晶圓批次差異等,并自動(dòng)生成工藝優(yōu)化建議。通過(guò)持續(xù)的數(shù)據(jù)積累與分析,幫助客戶不斷提升切割工藝水平,實(shí)現(xiàn)持續(xù)改進(jìn)。8小時(shí)連續(xù)切割驗(yàn)證:中清航科設(shè)備溫度波動(dòng)≤±0.5℃。南通碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠

晶圓切割設(shè)備是用于半導(dǎo)體制造中,將晶圓精確切割成單個(gè)芯片的關(guān)鍵設(shè)備。這類設(shè)備通常要求高精度、高穩(wěn)定性和高效率,以確保切割出的芯片質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)。晶圓切割設(shè)備的技術(shù)參數(shù)包括切割能力、空載轉(zhuǎn)速、額定功率等,這些參數(shù)直接影響到設(shè)備的切割效率和切割質(zhì)量。例如,切割能力決定了設(shè)備能處理的晶圓尺寸和厚度,空載轉(zhuǎn)速和額定功率則關(guān)系到設(shè)備的切割速度和穩(wěn)定性。此外,設(shè)備的電源類型、電源電壓等也是重要的考慮因素,它們影響到設(shè)備的兼容性和使用范圍。現(xiàn)在店內(nèi)正好有切割設(shè)備,具備較高的切割能力(Ф135X6),空載轉(zhuǎn)速達(dá)到2280rpm,電源電壓為380V,適用于多種切割需求。南通碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認(rèn)證,月產(chǎn)能達(dá)50萬(wàn)片。

半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛,晶圓切割環(huán)節(jié)的微塵污染可能導(dǎo)致芯片失效。中清航科的切割設(shè)備采用全封閉防塵結(jié)構(gòu)與高效HEPA過(guò)濾系統(tǒng),工作區(qū)域潔凈度達(dá)到Class1標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)配備激光誘導(dǎo)等離子體除塵裝置,實(shí)時(shí)清理切割產(chǎn)生的微米級(jí)顆粒,使產(chǎn)品不良率降低至0.1%以下。在成本控制成為半導(dǎo)體企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的現(xiàn)在,中清航科通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)切割耗材的大幅節(jié)約。其自主研發(fā)的金剛石切割刀片,使用壽命較行業(yè)平均水平延長(zhǎng)50%,且通過(guò)刀片磨損實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)補(bǔ)償技術(shù),減少頻繁更換帶來(lái)的停機(jī)損失,幫助客戶降低20%的耗材成本,在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中構(gòu)筑成本優(yōu)勢(shì)。
針對(duì)小批量多品種的研發(fā)型生產(chǎn)需求,中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設(shè)計(jì)的切割設(shè)備可在30分鐘內(nèi)完成不同規(guī)格晶圓的換型調(diào)整,配合云端工藝數(shù)據(jù)庫(kù),存儲(chǔ)超過(guò)1000種標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù),工程師可快速調(diào)用并微調(diào),大幅縮短新產(chǎn)品導(dǎo)入周期,為科研機(jī)構(gòu)與初創(chuàng)企業(yè)提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測(cè)環(huán)節(jié)直接關(guān)系到后續(xù)封裝的質(zhì)量。中清航科將AI視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)與切割設(shè)備深度融合,通過(guò)深度學(xué)習(xí)算法自動(dòng)識(shí)別切割面的微裂紋、缺口等缺陷,檢測(cè)精度達(dá)0.5μm,檢測(cè)速度提升至每秒300個(gè)Die,實(shí)現(xiàn)切割與檢測(cè)的一體化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪費(fèi)。晶圓切割機(jī)預(yù)防性維護(hù)中清航科定制套餐,設(shè)備壽命延長(zhǎng)5年。

8英寸晶圓在功率半導(dǎo)體、MEMS等領(lǐng)域仍占據(jù)重要市場(chǎng)份額,中清航科針對(duì)這類成熟制程開(kāi)發(fā)的切割設(shè)備,兼顧效率與性價(jià)比。設(shè)備采用雙主軸并行切割設(shè)計(jì),每小時(shí)可加工40片8英寸晶圓,且通過(guò)優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)降低振動(dòng)噪聲至65分貝以下,為車間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)境,深受中小半導(dǎo)體企業(yè)的青睞。晶圓切割工藝的數(shù)字化轉(zhuǎn)型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設(shè)備內(nèi)置工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)模塊,可實(shí)時(shí)采集切割壓力、溫度、速度等100余項(xiàng)工藝參數(shù),通過(guò)邊緣計(jì)算節(jié)點(diǎn)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析,生成工藝優(yōu)化建議。客戶可通過(guò)云端平臺(tái)查看生產(chǎn)報(bào)表與趨勢(shì)分析,實(shí)現(xiàn)基于數(shù)據(jù)的精細(xì)化管理。中清航科切割工藝白皮書(shū)下載量超10萬(wàn)次,成行業(yè)參考標(biāo)準(zhǔn)。江蘇芯片晶圓切割寬度
中清航科推出切割機(jī)租賃服務(wù),降低客戶初期投入成本。南通碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠
針對(duì)航天電子需求,中清航科在屏蔽室內(nèi)完成切割(防宇宙射線干擾)。采用低介電刀具材料,避免靜電放電損傷,芯片單粒子翻轉(zhuǎn)率降至10??errors/bit-day。中清航科提供IATF16949認(rèn)證切割參數(shù)包:包含200+測(cè)試報(bào)告(剪切力/熱沖擊/HAST等),加速客戶車規(guī)芯片認(rèn)證流程,平均縮短上市時(shí)間6個(gè)月。中清航科殘?jiān)鼒D譜數(shù)據(jù)庫(kù):通過(guò)質(zhì)譜分析切割碎屑成分,溯源工藝缺陷。每年幫助客戶解決15%的隱性良率問(wèn)題,挽回?fù)p失超$300萬(wàn)。中清航科氣動(dòng)懸浮切割頭:根據(jù)晶圓厚度自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力(范圍0.1-5N,精度±0.01N)。OLED顯示面板切割良率提升至99.8%,邊緣像素?fù)p壞率<0.01%。南通碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠