優(yōu)勢(shì)??非接觸三維表面輪廓測(cè)量??噪音小,測(cè)量重復(fù)性好??納米級(jí)分辨率:Z軸分辨率比較高可達(dá)0.1nm??測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)多:一個(gè)面**多可以達(dá)到500萬個(gè)點(diǎn)??點(diǎn)間距小,XY分辨率高??多種視野范圍可供選擇,快速切換物鏡變換視野??測(cè)量速度快,可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量技術(shù)特點(diǎn)1.干涉條紋掃描測(cè)量表面位置信息的理論根據(jù)是被測(cè)表面上各點(diǎn)深度不同所形成的干涉光強(qiáng)不同。2.產(chǎn)生干涉情況下,波長(zhǎng)與可測(cè)量的深度數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)。3.在白光干涉中,干涉圖樣是由各色光形成的單色干涉圖樣形成的。被測(cè)表面上各點(diǎn)的深度不同,根據(jù)光的波動(dòng)性與同調(diào)性,所對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)中各頻譜成分的強(qiáng)度不同,各色光的干涉級(jí)次不同。有助于更加準(zhǔn)確的得到表面的位置信息粗糙度測(cè)量符合ISO標(biāo)準(zhǔn)25178-602傳感器適用任何反射表面;通過塑料或玻璃等透明層。福建光譜共焦傳感器測(cè)量速度

多個(gè)產(chǎn)品同時(shí)測(cè)量減少成本測(cè)量對(duì)象可任意擺放,多個(gè)產(chǎn)品可同時(shí)測(cè)量,**節(jié)省測(cè)量時(shí)間,減少用工成本!低畸變圖像無變形即便在鏡頭邊緣部位測(cè)量,圖像畸變也很小,無需擔(dān)心測(cè)量對(duì)象所放位置。缺陷過濾測(cè)量位置包含有毛邊或缺陷時(shí)系統(tǒng)能自動(dòng)識(shí)別,排除異常點(diǎn)提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。數(shù)據(jù)追溯管理更簡(jiǎn)單測(cè)量結(jié)果自動(dòng)保存,可按測(cè)量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號(hào)等信息搜索,數(shù)據(jù)追溯管理簡(jiǎn)單優(yōu)勢(shì):測(cè)量更準(zhǔn)確采用雙倍率雙側(cè)遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,具有較高的遠(yuǎn)心度,即使有段差情況下也能高精度正確的測(cè)量。倍率涵蓋0.16X大視野/0.7X高精度。浙江線光譜共焦傳感器精度光譜共焦傳感器,就選馬波斯測(cè)量科技,有需要可以聯(lián)系我司哦!

什么是靜態(tài)噪聲?靜態(tài)噪聲(StaticNoise,簡(jiǎn)稱SN),位于測(cè)量范圍中心、完全靜態(tài)的樣品測(cè)得的噪聲級(jí)別的RMS。我們的參數(shù)表給出了兩個(gè)SN值:一個(gè)沒有時(shí)間平均值,另一個(gè)時(shí)間平均值為10。這是比較大可接受值。校準(zhǔn)后立即測(cè)量每個(gè)傳感器的SN,并在校準(zhǔn)證書中指定。該參數(shù)決定了傳感器的軸向分辨率。什么是測(cè)量精度?測(cè)量精度,是將傳感器測(cè)量的距離與1納米精度的編碼器確定的樣本位置進(jìn)行比較時(shí)觀察到的比較大誤差。校準(zhǔn)后,此參數(shù)立即如下條件下測(cè)量:優(yōu)化率,傾斜角度=0°,時(shí)間平均=測(cè)量頻率/10,采樣步數(shù)至少為100。對(duì)于“自適應(yīng)LED”模式的傳感器,此模式已啟用。精度對(duì)于傳感器和校準(zhǔn)臺(tái)的短期重復(fù)來說是個(gè)良好指標(biāo)。表中的數(shù)值為比較大可接受值:每個(gè)傳感器的準(zhǔn)確度在校準(zhǔn)后立即測(cè)量,并在校準(zhǔn)證書中指示。測(cè)量精度,是將傳感器測(cè)量的距離與1納米精度的編碼器確定的樣本位置進(jìn)行比較時(shí)觀察到的比較大誤差。
非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性,特別適用于高精度檢測(cè)以及超精加工領(lǐng)域。對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測(cè)量?直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量?共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式?直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測(cè)量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,有想法可以來我司咨詢!

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使用簡(jiǎn)單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強(qiáng)。福建光譜共焦傳感器測(cè)量速度
3C行業(yè)應(yīng)用:集成電路自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)紅外線傳感器黃金接觸墊微電子的焊線槽形貌印刷線路板的翹曲測(cè)量金線的檢測(cè)玻璃行業(yè)玻璃行業(yè)自吹起顯示器非平面即曲面的想法,市面上2D、2.5D產(chǎn)品相繼出現(xiàn),經(jīng)iPhone創(chuàng)辦人SteveJobs構(gòu)思3D曲面玻璃發(fā)展藍(lán)圖后,開啟了發(fā)展趨勢(shì),相繼有廠商投入3D產(chǎn)品各種成型技術(shù)的研發(fā)。因符合市場(chǎng)大量產(chǎn)品的設(shè)計(jì)需求,智能手機(jī)、智能手表、平板計(jì)算機(jī)、儀表板等陸續(xù)出現(xiàn),時(shí)代進(jìn)步已經(jīng)明確引導(dǎo)3D曲面玻璃發(fā)展方向。那么3D曲面玻璃有什么優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)使其能深受廣大用戶喜愛呢?福建光譜共焦傳感器測(cè)量速度