無(wú)論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試，探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國(guó)所占據(jù)。近年來(lái)在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來(lái)國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。探針臺(tái)基本配置包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等。微波探針臺(tái)調(diào)試
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速露件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓，電流、電陽(yáng)以及電容電壓特性線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途.激光探針臺(tái)主要檢測(cè)內(nèi)容:1、激光打標(biāo);2、表層修復(fù)線路(利用激光將兩層金屬線熔融連接);3、驅(qū)除短路點(diǎn);4、激光斷線，5、干擾芯片測(cè)試;除了以幾項(xiàng)之外激光探針臺(tái)兼?zhèn)涑Ｒ?guī)探針臺(tái)功能:1.微小連接點(diǎn)信號(hào)引出2.失效分析失效確認(rèn)3.FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn)4.晶圓可靠性驗(yàn)證微波探針臺(tái)規(guī)格高低溫真空探針臺(tái)的穩(wěn)定性更高。
探針臺(tái)的工作原理1.探針臺(tái)工作原理將待測(cè)物吸附在載物臺(tái)上后推入探針臺(tái)腔體內(nèi)，利用探針座精密移動(dòng)探針，通過(guò)顯微鏡的觀察，將探針與待測(cè)物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過(guò)自帶的軟件實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)測(cè)量和提取。結(jié)果方便保留對(duì)比查看。2.探針臺(tái)功能通過(guò)連接儀器及待測(cè)物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過(guò)自帶的驅(qū)動(dòng)及測(cè)試軟件能夠?qū)崿F(xiàn)器件的電學(xué)特性測(cè)試，為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺(tái)，探針臺(tái)可以搭配多種測(cè)試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。3.探針臺(tái)用途探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測(cè)試，從源頭即可監(jiān)控。探針臺(tái)用于對(duì)集成電路、三極管、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征，是研究中不可缺少的基本設(shè)備。4.探針臺(tái)系統(tǒng)性能指標(biāo)可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)軟件對(duì)晶片載臺(tái)X，Y，Z，探針臺(tái)可搭載光纖，未來(lái)可升級(jí)滿足光電測(cè)試載物臺(tái)在XY方向：±1pm分辨率、小于2μm重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度。
低溫探針臺(tái)中低電流測(cè)量的注意事項(xiàng)：低電流測(cè)量（低于 1 nA）是評(píng)估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下，器件材料、生長(zhǎng)參數(shù)或器件幾何形狀的修改會(huì)導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無(wú)關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場(chǎng)分布造成的，并導(dǎo)致器件性能下降——常見(jiàn)的是功耗過(guò)大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性，因此低溫探測(cè)測(cè)量可以成為識(shí)別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評(píng)估工具，特別是對(duì)于新材料和器件架構(gòu)。了解探針臺(tái)的使用步驟。
探針臺(tái)的探針的清洗，1、毛刷清潔法：適用范圍為5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙，撕成細(xì)長(zhǎng)條的形狀，撕成細(xì)長(zhǎng)的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡**視顯微鏡即可，放大倍數(shù)太高無(wú)法操作)，利用撕下的紙片作為毛刷，輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法：適用范圍是所有探針，灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙，裁成樣品臺(tái)大小(或適當(dāng)?shù)某叽?，固定于樣品臺(tái)上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動(dòng)探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法：適用范圍是所有探針，清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(nèi)(燒杯大小以適合用戶操作為宜)，并放到超聲波清洗機(jī)內(nèi)。打開(kāi)超聲波清洗機(jī)，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內(nèi)，讓震動(dòng)把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針?lè)诺竭m當(dāng)?shù)奈恢昧栏珊蠹纯墒褂?。?qǐng)注意，若清潔微波探針，須將探針?lè)胖谜砹栏伞Ｌ结樑_(tái)應(yīng)用需求持續(xù)攀升，行業(yè)發(fā)展前景較好。浙江探針臺(tái)報(bào)價(jià)
探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。微波探針臺(tái)調(diào)試
自動(dòng)探針臺(tái)是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產(chǎn)型全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)，通過(guò)使探針卡與晶圓Pad點(diǎn)之間精細(xì)接觸，實(shí)現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測(cè)試，該設(shè)備操作簡(jiǎn)單并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性，能為客戶提供一個(gè)具有成本優(yōu)勢(shì)且高產(chǎn)量的晶圓測(cè)試解決方案，滿足晶圓廠、封測(cè)廠、測(cè)試廠等不同客戶的測(cè)試需求。經(jīng)過(guò)不斷的技術(shù)迭代更新，A系列全自動(dòng)探針臺(tái)已擁有同步國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)：低噪聲、快速移動(dòng)、高產(chǎn)能、采用缺口和晶圓ID同步識(shí)別，減少了晶圓的加載時(shí)間；低重心設(shè)計(jì)，支持高針數(shù)探針卡，微波探針臺(tái)調(diào)試
上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03，位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室，公司自成立以來(lái)通過(guò)規(guī)范化運(yùn)營(yíng)和高質(zhì)量服務(wù)，贏得了客戶及社會(huì)的一致認(rèn)可和好評(píng)。公司主要產(chǎn)品有拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等，公司工程技術(shù)人員、行政管理人員、產(chǎn)品制造及售后服務(wù)人員均有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。并與上下游企業(yè)保持密切的合作關(guān)系。愛(ài)特蒙特集中了一批經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才，能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù)，并能根據(jù)用戶需求，定制產(chǎn)品和配套整體解決方案。上海波銘科學(xué)儀器有限公司本著先做人，后做事，誠(chéng)信為本的態(tài)度，立志于為客戶提供拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器行業(yè)解決方案，節(jié)省客戶成本。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢。