在成都中芯國際12英寸晶圓廠，7N級（99.99999%）超純氬氣正通過分布式供氣系統(tǒng)注入蝕刻機(jī)臺。當(dāng)氬氣在等離子體中電離時(shí)，其產(chǎn)生的離子束能以原子級精度雕刻3nm芯片電路，而液態(tài)氬氣汽化時(shí)的超純特性，確保了蝕刻過程中雜質(zhì)含量低于0.5ppm，較行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提升20倍。泰宇氣體技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的“微流控氣路系統(tǒng)”，通過動(dòng)態(tài)配氣技術(shù)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)氬氮混合比例，使3nm芯片的良品率提升至98.7%，單條產(chǎn)線年節(jié)省成本超2000萬元。在光伏產(chǎn)業(yè)，氬氣是單晶硅生長的“溫度調(diào)節(jié)器”。每生產(chǎn)1GW單晶硅需要耗氬1萬噸，氬氣環(huán)繞在硅材料周圍形成的惰性環(huán)境，不僅能防止硅被氧化，還能通過流動(dòng)帶走硅液中的揮發(fā)物。泰宇氣體與通威太陽能合作的“光伏單晶爐氬氣凈化回收技術(shù)”，通過催化氧化和膜分離系統(tǒng)，將氬氣回收率提升至95%，使單晶硅生產(chǎn)成本降低18%。氬氣在金屬加工中的應(yīng)用提高了生產(chǎn)效率和成本效益。安徽5個(gè)9純氬氣供應(yīng)站
當(dāng)制造業(yè)競爭進(jìn)入納米級精度時(shí)代，氬氣純度已成為衡量國家高級制造能力的重要指標(biāo)。在成都龍泉驛區(qū)洪安鎮(zhèn)的成都泰宇氣體有限責(zé)任公司生產(chǎn)車間內(nèi)，一排排杜瓦罐正通過自動(dòng)化生產(chǎn)線注入高純度氬氣。這些標(biāo)有"99.999%"純度標(biāo)識的液氬產(chǎn)品，即將被運(yùn)往西南地區(qū)多家新能源汽車電池制造商和航空航天零部件加工企業(yè)。作為西南地區(qū)工業(yè)氣體領(lǐng)域的先進(jìn)企業(yè)，泰宇氣體正以技術(shù)突破推動(dòng)金屬加工行業(yè)氬氣純度標(biāo)準(zhǔn)從"四個(gè)9"向"五個(gè)9"甚至"六個(gè)9"跨越，重新定義高級制造的氣體保護(hù)基準(zhǔn)。蘇州40升氬氣供應(yīng)商工業(yè)用氬氣在焊接過程中起到關(guān)鍵的保護(hù)作用。
泰宇氣體技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的“微流控氣路系統(tǒng)”已實(shí)現(xiàn)三大突破：納米級過濾：通過石墨烯復(fù)合膜過濾，將顆粒物直徑控制在0.1μm以下。動(dòng)態(tài)配氣技術(shù)：根據(jù)機(jī)臺負(fù)荷實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)氬氮混合比例，使3nm芯片的良品率提升至98.7%；閉環(huán)回收裝置：將切割過程中氣化的氬氣回收凈化，單臺設(shè)備年節(jié)省成本超180萬元；在成都京東方第8.6代OLED生產(chǎn)線項(xiàng)目中，泰宇氣體定制的氬氣供應(yīng)系統(tǒng)使蒸鍍環(huán)節(jié)的真空度穩(wěn)定在10??Pa，為柔性顯示面板的量產(chǎn)提供了關(guān)鍵保障。
在質(zhì)量控制環(huán)節(jié)，泰宇氣體建立了"三級檢測體系"：在線分析：采用德國Pfeiffer真空質(zhì)譜儀，實(shí)現(xiàn)每10分鐘一次的全組分分析批次檢測：每瓶氣體均通過美國Agilent氣相色譜儀檢測，出具包含12項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)的質(zhì)檢報(bào)告第三方認(rèn)證：定期送檢SGS、Intertek等國際機(jī)構(gòu)，確保產(chǎn)品符合SEMI C8標(biāo)準(zhǔn)這種嚴(yán)苛的質(zhì)量管控，使泰宇氣體成為中芯國際、京東方等企業(yè)的認(rèn)證供應(yīng)商，其電子級氬氣產(chǎn)品已進(jìn)入臺積電3nm芯片產(chǎn)線供應(yīng)鏈。當(dāng)制造業(yè)競爭進(jìn)入納米級精度時(shí)代，氬氣純度已成為衡量國家高級制造能力的重要指標(biāo)。金屬加工類的工業(yè)用氬氣需求大。
液態(tài)氬氣的低溫特性對材料性能提出嚴(yán)苛要求。泰宇氣體在三個(gè)方面實(shí)現(xiàn)技術(shù)領(lǐng)跑：碳纖維復(fù)合罐體：與西南交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)的碳纖維儲罐，在保持-196℃耐溫性能的同時(shí)，自重降低35%自修復(fù)密封技術(shù)：采用形狀記憶合金密封圈，在-196℃至常溫循環(huán)中保持長久密封性防腐蝕涂層：研發(fā)的激光熔覆鎳基合金涂層，使儲罐在含硫環(huán)境下的使用壽命延長至20年在甘孜州海拔4500米的測試基地，泰宇氣體的技術(shù)呼吸閥在高原低氣壓環(huán)境下仍能保持±50Pa的精確壓力控制，徹底解決行業(yè)長期存在的罐體形變難題。激光切割氬氣對光路有保護(hù)作用。北京8升氬氣公司
低溫氬氣在超導(dǎo)領(lǐng)域有著關(guān)鍵作用。安徽5個(gè)9純氬氣供應(yīng)站
當(dāng)制造業(yè)競爭進(jìn)入納米級精度時(shí)代，氬氣純度已成為衡量國家高級制造能力的重要指標(biāo)。泰宇氣體董事長李祥在近期行業(yè)峰會上表示，"我們將持續(xù)投入研發(fā)，力爭在2030年前實(shí)現(xiàn)9N級氬氣的工業(yè)化生產(chǎn)，為中國從制造大國向智造強(qiáng)國轉(zhuǎn)型提供氣體保障。"從龍泉山下的氣體工廠到全球產(chǎn)業(yè)鏈的高級環(huán)節(jié)，成都泰宇氣體有限責(zé)任公司正以技術(shù)創(chuàng)新重新定義工業(yè)氣體的價(jià)值邊界。在這場關(guān)于純度的競賽中，每一個(gè)ppm的突破，都在推動(dòng)中國制造向更精密、更綠色、更可持續(xù)的未來邁進(jìn)。安徽5個(gè)9純氬氣供應(yīng)站