在催化領(lǐng)域，催化劑的活性、選擇性和穩(wěn)定性直接決定了催化反應(yīng)的效率和經(jīng)濟(jì)性，而催化劑的表面結(jié)構(gòu)和活性組分分布是影響其性能的主要因素?？祁ＴO(shè)備有限公司的納米顆粒沉積系統(tǒng)和超高真空 PVD 系統(tǒng)，為催化材料的準(zhǔn)確設(shè)計(jì)與制備提供了強(qiáng)大的技術(shù)手段。通過(guò)超高真空環(huán)境下的超純非團(tuán)聚納米顆粒沉積，可將 Pt、Ir?O?、CuO、Ru、Ni、NiO 等高性能催化活性組分，以納米尺度均勻分散在載體表面，形成高比表面積、高活性位點(diǎn)密度的催化涂層。這種制備方式能夠精細(xì)控制活性組分的顆粒尺寸、分散度和負(fù)載量，有效避免了傳統(tǒng)浸漬法中活性組分團(tuán)聚、分布不均等問(wèn)題，明顯提升了催化劑的活性和選擇性。工業(yè)研發(fā)中，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)小批量...

真空度抽不上去或抽速緩慢是最常見(jiàn)的故障之一。排查應(yīng)遵循由外到內(nèi)、由簡(jiǎn)到繁的原則。首先檢查腔門(mén)是否關(guān)緊、密封圈是否完好潔凈。其次，檢查各個(gè)真空閥門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)是否正確。然后，使用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢漏，重點(diǎn)關(guān)注法蘭連接處、電極引入端等潛在漏點(diǎn)。然后，考慮是否腔室或泵體內(nèi)部污染導(dǎo)致放氣率過(guò)高。 分子泵或渦輪泵運(yùn)行異常，如過(guò)載報(bào)警、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)，可能的原因包括軸承壽命到期、泵體內(nèi)部進(jìn)入異物、或前級(jí)真空不足導(dǎo)致泵負(fù)載過(guò)大。需要查閱泵的維護(hù)手冊(cè)，檢查前級(jí)真空壓力，必要時(shí)聯(lián)系專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行檢修或更換。 提供 1L、2L 等多規(guī)格碗容量選擇，適配實(shí)驗(yàn)室與中試規(guī)模需求。納米沉積系統(tǒng)使用壽命科睿設(shè)備的納米...

燃料電池高性能催化劑制備（日本東北大學(xué)）：該大學(xué)環(huán)境學(xué)院團(tuán)隊(duì)采用電弧等離子體類(lèi)型的UHV沉積系統(tǒng)（APD）制備Pt基高熵合金催化劑。系統(tǒng)借助超高真空環(huán)境避免雜質(zhì)污染，以原子級(jí)精度構(gòu)建出4層單晶Pt層與10層Cantor合金的“偽核殼”結(jié)構(gòu)，還通過(guò)準(zhǔn)確控制實(shí)現(xiàn)Cr-Mn-Fe-Co-Ni等多元合金的組分比例。后續(xù)在Pt/Cantor合金的（111）晶面上引入三聚氰胺分子后，催化劑的氧還原反應(yīng)活性提升約2倍，且在0.6-1.0V的潛在循環(huán)負(fù)載下保持超高穩(wěn)定性，大幅延長(zhǎng)了燃料電池使用壽命，為燃料電池催化劑的高性能化研發(fā)提供了技術(shù)支撐。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于催化、儲(chǔ)能和光子學(xué)等前沿研究領(lǐng)域。粉體鍍膜沉積系統(tǒng)...

新南威爾士大學(xué)AronMichael團(tuán)隊(duì)利用超高真空電子束蒸發(fā)硅系統(tǒng)，攻克了CMOS上集成MEMS時(shí)的低熱預(yù)算難題。該系統(tǒng)可在≤500℃的低熱預(yù)算下，制備出厚度達(dá)60μm、表面光滑且低應(yīng)力的原位磷摻雜硅薄膜，沉積速率達(dá)1μm/min，且不會(huì)損害CMOS的完整性。團(tuán)隊(duì)還基于這種厚多晶硅膜設(shè)計(jì)制造了20μm厚的梳狀驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，成功實(shí)現(xiàn)了加速度計(jì)的功能。該案例為MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技術(shù)，助力汽車(chē)、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域智能傳感器的低成本集成。工業(yè)研發(fā)中，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)小批量試產(chǎn)，為規(guī)?；a(chǎn)提供工藝參數(shù)參考。無(wú)烴納米涂覆系統(tǒng)維修 NL-FLEX多功能沉積系統(tǒng)：全場(chǎng)景基材適配，解鎖多元應(yīng)用可能 ...