螺桿真空泵的冷卻方式分風(fēng)冷和水冷兩類(lèi):風(fēng)冷系統(tǒng)適用于小抽速泵(≤100m3/h),通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)風(fēng)扇,將泵腔熱量經(jīng)散熱片散發(fā),散熱片面積需根據(jù)功率計(jì)算(如15kW泵需散熱面積≥1.5m2);水冷系統(tǒng)適用于大抽速泵(≥200m3/h),冷卻水管路纏繞在泵腔外壁,進(jìn)水溫度≤32℃,水壓0.2-0.4MPa,水流量根據(jù)熱負(fù)荷確定(如37kW泵需水流量≥5m3/h)。冷卻系統(tǒng)的可靠性至關(guān)重要,若冷卻不足,泵腔溫度超過(guò)80℃會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子熱膨脹,間隙減小引發(fā)摩擦,嚴(yán)重時(shí)損壞設(shè)備,因此系統(tǒng)需加裝溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)控并聯(lián)動(dòng)報(bào)警。干式螺桿真空泵的節(jié)能改造可采用變頻電機(jī),根據(jù)壓力需求調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,節(jié)能 15%-20%。山...
在 “雙碳” 目標(biāo)下,馬德寶干式螺桿真空泵以節(jié)能降耗特性,成為工業(yè)綠色轉(zhuǎn)型的重要助力。相較于傳統(tǒng)滑閥泵,其 11KW 電機(jī)每年可節(jié)省電能約 3 萬(wàn)度(按年運(yùn)行 8000 小時(shí)計(jì)算),無(wú)油煙排放減少大氣污染,無(wú)油污染降低廢水處理成本。同時(shí),設(shè)備運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低,改善車(chē)間作業(yè)環(huán)境,符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì) “綠色生產(chǎn)、人文車(chē)間” 的需求。從化工醫(yī)藥的清潔生產(chǎn),到電子行業(yè)的精密制造,馬德寶螺桿真空泵不僅為企業(yè)提升生產(chǎn)效率,更以可持續(xù)設(shè)計(jì)助力行業(yè)實(shí)現(xiàn) “高效生產(chǎn)與環(huán)保責(zé)任” 的雙贏。低溫環(huán)境下有防凍保護(hù)設(shè)計(jì)。遼寧螺桿真空泵制造商螺桿真空泵的變頻控制系統(tǒng)基于 “負(fù)載按需調(diào)節(jié)” 原理,通過(guò) PLC 采集系統(tǒng)壓力...
在化工領(lǐng)域,馬德寶干式螺桿真空泵可直接抽吸腐蝕性氣體,助力真空蒸餾、脫水結(jié)晶工藝高效運(yùn)行;醫(yī)藥行業(yè)中,無(wú)油設(shè)計(jì)避免藥品污染,適配真空干燥、無(wú)菌生產(chǎn)環(huán)節(jié);電子與半導(dǎo)體行業(yè)里,1Pa 的高真空度滿(mǎn)足真空鍍膜、芯片制造的嚴(yán)苛要求;食品工業(yè)方面,低噪、無(wú)油煙特性符合食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),支撐冷凍干燥、真空包裝工藝;同時(shí),在電力行業(yè)真空浸漬、航空航天模擬試驗(yàn)中,其穩(wěn)定的抽氣速率與智能化控制,也成為保障工藝精度的關(guān)鍵裝備。干式螺桿真空泵的使用壽命通常為 8-10 年,定期維護(hù)可延長(zhǎng)至 12 年。甘肅干式無(wú)油螺桿真空泵推薦廠(chǎng)家半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF4、SF6)對(duì)螺桿真空泵腐蝕性極強(qiáng),需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)...
馬德寶干式螺桿真空泵的***性能,源于集團(tuán)嚴(yán)苛的全流程質(zhì)量控制體系。生產(chǎn)環(huán)節(jié)采用日本、德國(guó)數(shù)控加工中心及大型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,精加工車(chē)間配備恒溫環(huán)境,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化加工與檢測(cè),確保轉(zhuǎn)子、泵體等**部件的幾何精度與對(duì)稱(chēng)性。原材料進(jìn)廠(chǎng)需經(jīng)光譜儀、液壓萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)等設(shè)備檢測(cè),每臺(tái)產(chǎn)品出廠(chǎng)前均通過(guò)全性能試驗(yàn)平臺(tái)測(cè)試,批次產(chǎn)品額外抽檢。加之 ISO9004 質(zhì)量管理體系的持續(xù)貫徹,從加工到出廠(chǎng)的每一步都可控可追溯,讓產(chǎn)品精度與質(zhì)量在國(guó)內(nèi)同行業(yè)中保持**。螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子常用功能涂層包括 TiN、DLC、氧化鋁陶瓷涂層,適配不同工況。國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵價(jià)格螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器...
馬德寶干式螺桿真空泵憑借多項(xiàng)國(guó)內(nèi)**技術(shù),樹(shù)立行業(yè)技術(shù)**。其全流道靜音設(shè)計(jì)為國(guó)內(nèi)**,通過(guò)獨(dú)特泵體與雙螺桿流道優(yōu)化,將噪音控制在 65 分貝以下,解決傳統(tǒng)真空泵噪音高的問(wèn)題;磁力傳動(dòng)及永磁變頻全封閉電機(jī)技術(shù),徹底消除羅茨泵常見(jiàn)的軸封泄漏現(xiàn)象,電機(jī)一級(jí)能效更節(jié)能環(huán)保。此外,鋼襯工程塑料防腐技術(shù)的應(yīng)用,讓泵體既保留金屬?gòu)?qiáng)度,又具備工程塑料耐腐蝕性,可直接抽吸化工醫(yī)藥行業(yè)的腐蝕性氣體,無(wú)需額外氣體中和處理,大幅拓寬應(yīng)用場(chǎng)景。其極限真空度通??蛇_(dá)到 10??Pa 級(jí)別。羅茨泵螺桿真空泵采購(gòu)干式螺桿真空泵的傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)直接影響運(yùn)行效率。該系統(tǒng)多采用“電機(jī)-聯(lián)軸器-轉(zhuǎn)子”直聯(lián)結(jié)構(gòu),減少皮帶傳動(dòng)的損耗(直...
螺桿真空泵的變頻控制系統(tǒng)基于 “負(fù)載按需調(diào)節(jié)” 原理,通過(guò) PLC 采集系統(tǒng)壓力信號(hào),實(shí)時(shí)調(diào)整電機(jī)轉(zhuǎn)速:當(dāng)系統(tǒng)壓力高于設(shè)定值時(shí),電機(jī)轉(zhuǎn)速提升,增加抽氣速率;當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值后,電機(jī)轉(zhuǎn)速降低,維持比較低抽氣負(fù)荷。**組件包括永磁同步電機(jī)、變頻器及壓力傳感器,永磁電機(jī)較異步電機(jī)效率提升 10%-15%,變頻器采用矢量控制技術(shù),轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍可從 500rpm 到 3000rpm。某廠(chǎng)家的變頻螺桿泵,在食品真空包裝生產(chǎn)線(xiàn)應(yīng)用中,當(dāng)包裝機(jī)處于間歇工作狀態(tài)時(shí),電機(jī)轉(zhuǎn)速可從 2800rpm 降至 800rpm,單臺(tái)設(shè)備年耗電量從 1.2 萬(wàn)度降至 6500 度,節(jié)能率達(dá) 45.8%,同時(shí)設(shè)備運(yùn)行噪音從 72...
螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂層材料包括三類(lèi):氮化鈦(TiN)涂層,硬度達(dá) 2000-2500HV,適用于含固體顆粒的氣體工況,可減少轉(zhuǎn)子刮擦磨損;類(lèi)金剛石涂層(DLC),摩擦系數(shù)低至 0.05-0.1,能降低轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)阻力,適配高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,使能耗降低 5%-10%;氧化鋁陶瓷涂層,耐酸耐溫性?xún)?yōu)異(耐溫 800℃),可抵御 HCl、H?SO?等酸性蒸氣侵蝕。涂層制備以物***相沉積(PVD)為主,其中磁控濺射法可精確控制涂層厚度(3-10μm),且涂層與轉(zhuǎn)子基體附著力≥50N。經(jīng)涂層處理后,轉(zhuǎn)子使用壽命延長(zhǎng) 2-3 倍,在含腐蝕性氣體的工況中,泵...
鋰電池極片干燥是決定電池能量密度、循環(huán)壽命與安全性能的**工序——極片若殘留雜質(zhì)或水分,會(huì)直接引發(fā)電解液分解、活性物質(zhì)失效等問(wèn)題,因此對(duì)配套螺桿真空泵提出“低水分殘留”“無(wú)油污染”“抗粉塵附著”三大嚴(yán)苛需求,且三者需同步滿(mǎn)足,缺一不可。在“低水分殘留”方面,極片含有的binder(粘結(jié)劑)與活性物質(zhì)(如三元材料、磷酸鐵鋰)對(duì)水分極為敏感:水分會(huì)與電解液中的鋰鹽反應(yīng)生成HF等腐蝕性物質(zhì),破壞極片結(jié)構(gòu),還會(huì)降低極片壓實(shí)密度。這要求螺桿真空泵需具備穩(wěn)定且高效的抽氣能力,不僅要快速抽離干燥腔體內(nèi)蒸發(fā)的水分,還需將腔體極限真空度控制在1Pa以下,確保極片**終水分殘留量低于50ppm,滿(mǎn)足高...
螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(如 10Pa)時(shí),PLC 控制器發(fā)送信號(hào)給變頻器,降低電機(jī)轉(zhuǎn)速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當(dāng)真空度因泄漏等因素上升時(shí),變頻器自動(dòng)提升轉(zhuǎn)速,維持真空穩(wěn)定。該系統(tǒng)的節(jié)能效果體現(xiàn)在兩方面:一是運(yùn)行階段,非滿(mǎn)負(fù)荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導(dǎo)體光刻工藝中,設(shè)備平均負(fù)載率 60%,年耗電量較定速設(shè)備減少約 8000kWh;二是啟動(dòng)階段,軟啟動(dòng)功能避免電機(jī)啟動(dòng)時(shí)的電流沖擊(啟動(dòng)電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
鋰電池極耳焊接(如激光焊接)工藝中,螺桿真空泵需為焊接區(qū)域提供穩(wěn)定的低真空環(huán)境,避免空氣影響焊接質(zhì)量。首先,需快速建立真空環(huán)境,將焊接腔真空度從大氣壓降至 10?2Pa 以下的時(shí)間≤2 分鐘,確保焊接效率;其次,真空度穩(wěn)定性需控制在 ±0.1Pa 范圍內(nèi),避免因真空度波動(dòng)導(dǎo)致激光能量衰減或焊接部位氧化。為保障真空環(huán)境,需做好三方面工作:一是真空系統(tǒng)密封,采用金屬密封墊片(如銅墊片),密封面粗糙度 Ra≤0.4μm,漏率≤1×10??Pa?m3/s;二是焊接腔清潔,定期清理焊接產(chǎn)生的金屬粉塵,防止粉塵堵塞氣道或進(jìn)入泵體;三是設(shè)備適配,根據(jù)焊接腔容積選擇合適抽速的真空泵,抽速余量預(yù)留 30%,確保...
企業(yè)在選擇螺桿真空泵時(shí),需根據(jù)自身生產(chǎn)工藝的需求,合理匹配抽氣速率和真空度范圍,以確保設(shè)備性能滿(mǎn)足生產(chǎn)要求且避免資源浪費(fèi)。螺桿真空泵的抽氣速率通常以 “m3/h” 為單位,常見(jiàn)規(guī)格從 10m3/h 到 1000m3/h 不等,小型設(shè)備適用于實(shí)驗(yàn)室、小型生產(chǎn)線(xiàn)(如電子元件封裝),大型設(shè)備則用于化工反應(yīng)釜、光伏鍍膜等大規(guī)模生產(chǎn)場(chǎng)景。真空度范圍方面,普通螺桿真空泵的極限真空度可達(dá)到 10?2~10??Pa,能滿(mǎn)足大多數(shù)工業(yè)領(lǐng)域的需求;而針對(duì)半導(dǎo)體刻蝕、太空模擬等對(duì)真空度要求極高的場(chǎng)景,可選擇高真空級(jí)螺桿真空泵,其極限真空度能達(dá)到 10??~10??Pa。在實(shí)際選型時(shí),還需考慮被抽氣體的成分(如是否含...
螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋,設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配,羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍,避免因羅茨泵抽速過(guò)大導(dǎo)致螺桿泵過(guò)載,例如螺桿泵抽速 300m3/h 時(shí),搭配 500-600m3/h 的羅茨泵**為適宜;二是壓力切換控制,設(shè)置壓力傳感器,當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵,防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過(guò)熱;三是管路優(yōu)化,采用大口徑(直徑≥DN80)無(wú)縫鋼管,減少管路阻力,同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥,防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng),極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa,且抽氣時(shí)...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕,需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276,該材質(zhì)含鉬、鉻元素,對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上,采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì),在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳?,防止含氟氣體滲入密封系統(tǒng)。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應(yīng)的氟化物,處理效率達(dá) 99.5%。螺桿真空泵在半導(dǎo)體刻蝕中可處理 Cl?、F?氣體,食品凍干中保證無(wú)菌環(huán)境。浙江選購(gòu)螺桿真空泵頭部企業(yè)/...
螺桿真空泵的日常維護(hù)需遵循 “預(yù)防性維護(hù)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類(lèi):每日檢查項(xiàng)目,包括設(shè)備運(yùn)行溫度(正常 80-120℃)、振動(dòng)值(≤4.5mm/s)、真空度穩(wěn)定性,發(fā)現(xiàn)異常立即停機(jī);每月維護(hù)項(xiàng)目,清潔進(jìn)氣過(guò)濾器濾芯,檢查 O 型圈是否有老化跡象,補(bǔ)充軸承潤(rùn)滑脂(選用高溫鋰基潤(rùn)滑脂);每 6-12 個(gè)月深度維護(hù)項(xiàng)目,拆解泵體檢查轉(zhuǎn)子磨損情況,更換機(jī)械密封與老化密封件,校準(zhǔn)壓力傳感器。某化工企業(yè)按此周期維護(hù),螺桿真空泵的平均無(wú)故障時(shí)間從 3 萬(wàn)小時(shí)延長(zhǎng)至 4.8 萬(wàn)小時(shí),年度維護(hù)費(fèi)用從 12 萬(wàn)元降至 8 萬(wàn)元,同時(shí)避免了因突發(fā)故障導(dǎo)致的生產(chǎn)線(xiàn)停工損失(日均損失約 5 萬(wàn)元)。平均無(wú)故障...
螺桿真空泵的日常維護(hù)需遵循 “預(yù)防性維護(hù)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類(lèi):每日檢查項(xiàng)目,包括設(shè)備運(yùn)行溫度(正常 80-120℃)、振動(dòng)值(≤4.5mm/s)、真空度穩(wěn)定性,發(fā)現(xiàn)異常立即停機(jī);每月維護(hù)項(xiàng)目,清潔進(jìn)氣過(guò)濾器濾芯,檢查 O 型圈是否有老化跡象,補(bǔ)充軸承潤(rùn)滑脂(選用高溫鋰基潤(rùn)滑脂);每 6-12 個(gè)月深度維護(hù)項(xiàng)目,拆解泵體檢查轉(zhuǎn)子磨損情況,更換機(jī)械密封與老化密封件,校準(zhǔn)壓力傳感器。某化工企業(yè)按此周期維護(hù),螺桿真空泵的平均無(wú)故障時(shí)間從 3 萬(wàn)小時(shí)延長(zhǎng)至 4.8 萬(wàn)小時(shí),年度維護(hù)費(fèi)用從 12 萬(wàn)元降至 8 萬(wàn)元,同時(shí)避免了因突發(fā)故障導(dǎo)致的生產(chǎn)線(xiàn)停工損失(日均損失約 5 萬(wàn)元)。國(guó)產(chǎn)螺桿泵...
科學(xué)的維護(hù)保養(yǎng)是確保螺桿真空泵長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵,合理的維護(hù)周期和方法能有效減少設(shè)備故障發(fā)生率。日常維護(hù)方面,操作人員需每天檢查設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),包括電機(jī)溫度(正常應(yīng)低于 80℃)、軸承溫度(不超過(guò) 70℃)、真空度穩(wěn)定性以及有無(wú)異常噪音或泄漏。潤(rùn)滑油的更換是**維護(hù)環(huán)節(jié),一般情況下,礦物油類(lèi)潤(rùn)滑油需每 3000~4000 小時(shí)更換一次,合成潤(rùn)滑油可延長(zhǎng)至 6000~8000 小時(shí),更換時(shí)需徹底清理油箱內(nèi)的殘留油污,避免新舊油混合影響潤(rùn)滑效果。每半年需對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行一次檢查,查看轉(zhuǎn)子嚙合間隙是否正常(正常間隙應(yīng)在 0.1~0.3mm 之間),若間隙過(guò)大,需及時(shí)調(diào)整或更換轉(zhuǎn)子,防止抽氣效率下降。每...
螺桿真空泵作為一種干式真空泵,其**工作部件由一對(duì)相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子組成。在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下,兩根螺桿以相反方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成周期性變化的容積腔室。當(dāng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入腔室后,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積腔室不斷縮小,氣體被逐漸壓縮,**終從排氣口排出,實(shí)現(xiàn)抽真空過(guò)程。與傳統(tǒng)油式真空泵相比,它比較大的優(yōu)勢(shì)在于無(wú)油污染,避免了油蒸氣對(duì)被抽氣體和生產(chǎn)工藝的影響,尤其適用于半導(dǎo)體、食品醫(yī)藥等對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)。同時(shí),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低,單級(jí)抽氣就能達(dá)到較高的真空度,在中高真空領(lǐng)域展現(xiàn)出穩(wěn)定可靠的性能,大幅降低了后續(xù)真空系統(tǒng)的配置復(fù)雜度。定期清潔進(jìn)氣口防止雜質(zhì)進(jìn)入。四川國(guó)產(chǎn)螺桿真空...
少油式螺桿真空泵配備的油霧分離器,**作用是分離排氣中的油霧(粒徑 1-5μm),避免環(huán)境污染與油損耗,工作原理包含三重分離過(guò)程:含油霧氣體進(jìn)入分離器后,先通過(guò)慣性碰撞板,大粒徑油霧(>5μm)被攔截;再進(jìn)入離心分離腔,通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速 3000rpm)產(chǎn)生的離心力,分離中粒徑油霧(1-5μm);***通過(guò)高精度濾芯(過(guò)濾精度 0.1μm),捕獲小粒徑油霧,凈化后的氣體(油霧含量≤5mg/m3)排出,分離出的油霧回流至油箱循環(huán)使用。維護(hù)要點(diǎn)包括:每日監(jiān)測(cè)分離器壓差(正常≤0.02MPa),壓差超 0.05MPa 表明濾芯堵塞,需及時(shí)更換;更換濾芯時(shí)需選用與設(shè)備匹配的型號(hào),避免因孔徑不當(dāng)導(dǎo)致分...
螺桿真空泵的節(jié)能改造可從電機(jī)升級(jí)、運(yùn)行控制、系統(tǒng)優(yōu)化三方面入手,降低運(yùn)行成本。電機(jī)升級(jí)方面,將傳統(tǒng)異步電機(jī)更換為永磁同步電機(jī),電機(jī)效率從 85% 提升至 95% 以上,在相同負(fù)載下能耗降低 10%-15%。運(yùn)行控制改造可加裝變頻控制系統(tǒng),根據(jù)系統(tǒng)真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備空載或滿(mǎn)負(fù)荷無(wú)效運(yùn)行,對(duì)于間歇性抽氣工況,節(jié)能率可達(dá) 30% 以上。系統(tǒng)優(yōu)化方面,對(duì)真空管道進(jìn)行改造,減小管道直徑偏差(≤5%)、減少管道彎頭數(shù)量(每減少 1 個(gè) 90° 彎頭,壓力損失降低 8%),降低氣體流動(dòng)阻力;合理匹配真空泵與工藝需求,避免 “大馬拉小車(chē)” 的現(xiàn)象,選擇合適抽速的設(shè)備。某工廠(chǎng)通過(guò)節(jié)能改造,螺桿...
螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(如 10Pa)時(shí),PLC 控制器發(fā)送信號(hào)給變頻器,降低電機(jī)轉(zhuǎn)速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當(dāng)真空度因泄漏等因素上升時(shí),變頻器自動(dòng)提升轉(zhuǎn)速,維持真空穩(wěn)定。該系統(tǒng)的節(jié)能效果體現(xiàn)在兩方面:一是運(yùn)行階段,非滿(mǎn)負(fù)荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導(dǎo)體光刻工藝中,設(shè)備平均負(fù)載率 60%,年耗電量較定速設(shè)備減少約 8000kWh;二是啟動(dòng)階段,軟啟動(dòng)功能避免電機(jī)啟動(dòng)時(shí)的電流沖擊(啟動(dòng)電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
螺桿真空泵的抽速下降是常見(jiàn)故障,需按步驟排查:第一步檢查進(jìn)氣過(guò)濾器,若濾芯堵塞(壓差≥5kPa),用壓縮空氣反吹或更換;第二步檢查密封系統(tǒng),用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè),若泄漏率>,更換密封件;第三步檢查轉(zhuǎn)子間隙,若因磨損導(dǎo)致間隙>0.5mm,需拆機(jī)調(diào)整或更換轉(zhuǎn)子。噪音過(guò)大(>80dB)的排查方向包括:電機(jī)軸承磨損(更換軸承)、聯(lián)軸器對(duì)中偏差(重新對(duì)中,偏差≤0.1mm)、泵腔異物(停機(jī)清理)。此外,泵過(guò)載(電流>額定值 110%)多因冷卻不足(清理冷卻系統(tǒng))、轉(zhuǎn)子卡滯(檢查間隙和異物)、電源電壓異常(調(diào)整電壓至 380V±10%),故障排查需遵循 “先外部后內(nèi)部、先電氣后機(jī)械” 原則,避免盲目拆機(jī)?;?..
為滿(mǎn)足工藝真空度低于10?3Pa的需求,單一真空泵難以實(shí)現(xiàn)高效抽氣,需采用“螺桿泵+羅茨泵”的組合真空系統(tǒng),通過(guò)兩者協(xié)同發(fā)揮優(yōu)勢(shì)。設(shè)計(jì)該系統(tǒng)時(shí),需重點(diǎn)把控三點(diǎn)關(guān)鍵匹配,以保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、提升真空效率并延長(zhǎng)使用壽命。一是抽速匹配。羅茨泵的抽速需設(shè)定為螺桿泵的2-3倍,這是因?yàn)槿袅_茨泵抽速低于此范圍,會(huì)導(dǎo)致氣體在兩泵間的連接管路內(nèi)堆積,造成抽氣瓶頸,降低整體系統(tǒng)效率;若抽速過(guò)高,螺桿泵無(wú)法及時(shí)將氣體輸送至羅茨泵,會(huì)使羅茨泵陷入“過(guò)載抽氣”狀態(tài),引發(fā)電機(jī)過(guò)熱,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)損壞泵體內(nèi)部的轉(zhuǎn)子與密封部件,直接影響真空性能。二是入口壓力匹配。羅茨泵在高壓力環(huán)境下運(yùn)行易出現(xiàn)故障,因此必須在兩泵之...
螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋,設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配,羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍,避免因羅茨泵抽速過(guò)大導(dǎo)致螺桿泵過(guò)載,例如螺桿泵抽速 300m3/h 時(shí),搭配 500-600m3/h 的羅茨泵**為適宜;二是壓力切換控制,設(shè)置壓力傳感器,當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵,防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過(guò)熱;三是管路優(yōu)化,采用大口徑(直徑≥DN80)無(wú)縫鋼管,減少管路阻力,同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥,防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng),極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa,且抽氣時(shí)...
螺桿真空泵的 PLC 控制系統(tǒng)是設(shè)備智能化運(yùn)行的**,主要功能涵蓋四個(gè)維度:一是運(yùn)行參數(shù)監(jiān)測(cè),實(shí)時(shí)采集排氣溫度(測(cè)量范圍 0-200℃,精度 ±1℃)、真空度(0-1×10?Pa,精度 ±0.1% FS)、電機(jī)轉(zhuǎn)速(0-3000rpm,精度 ±1rpm)與電流(0-100A,精度 ±0.5A),數(shù)據(jù)刷新周期≤1 秒;二是自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)設(shè)備啟停(軟啟動(dòng)時(shí)間 5-10 秒)、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)(根據(jù)真空度自動(dòng)切換 3 檔轉(zhuǎn)速)、故障停機(jī)(超溫、超壓時(shí)觸發(fā));三是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),記錄每日運(yùn)行參數(shù)曲線(xiàn)(存儲(chǔ)周期 1 年)與故障日志(包含故障類(lèi)型、發(fā)生時(shí)間、處理結(jié)果),支持 USB 導(dǎo)出;四是遠(yuǎn)程通訊,通過(guò) Modbu...
螺桿真空泵的冷卻方式分風(fēng)冷和水冷兩類(lèi):風(fēng)冷系統(tǒng)適用于小抽速泵(≤100m3/h),通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)風(fēng)扇,將泵腔熱量經(jīng)散熱片散發(fā),散熱片面積需根據(jù)功率計(jì)算(如15kW泵需散熱面積≥1.5m2);水冷系統(tǒng)適用于大抽速泵(≥200m3/h),冷卻水管路纏繞在泵腔外壁,進(jìn)水溫度≤32℃,水壓0.2-0.4MPa,水流量根據(jù)熱負(fù)荷確定(如37kW泵需水流量≥5m3/h)。冷卻系統(tǒng)的可靠性至關(guān)重要,若冷卻不足,泵腔溫度超過(guò)80℃會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子熱膨脹,間隙減小引發(fā)摩擦,嚴(yán)重時(shí)損壞設(shè)備,因此系統(tǒng)需加裝溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)控并聯(lián)動(dòng)報(bào)警。螺桿真空泵靠雙螺桿嚙合旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)氣體抽取。廣西LGB變螺距螺桿真空泵光伏硅片切割工藝中,...
化工反應(yīng)釜抽真空過(guò)程中,螺桿真空泵需應(yīng)對(duì) “易燃易爆”“強(qiáng)腐蝕性”“壓力驟變” 等安全風(fēng)險(xiǎn),設(shè)計(jì)需包含三重防護(hù)。一是防爆設(shè)計(jì),電機(jī)采用 Ex d IIB T4 Ga 防爆等級(jí),定子繞組采用耐溫 180℃的絕緣材料,電氣部件密封在隔爆外殼內(nèi),避免火花引燃可燃?xì)怏w(如甲烷、乙烯);二是壓力保護(hù),設(shè)置雙重安全閥(爆破壓力 0.2MPa)與壓力開(kāi)關(guān),當(dāng)系統(tǒng)壓力低于 0.1kPa(避免負(fù)壓過(guò)大損壞反應(yīng)釜)或高于 0.15MPa(防止氣體倒灌)時(shí),自動(dòng)停機(jī)并觸發(fā)聲光報(bào)警;三是應(yīng)急處理,配備氮?dú)庵脫Q接口,當(dāng)可燃?xì)怏w濃度傳感器檢測(cè)到濃度超下限 10% 時(shí),立即通入氮?dú)猓髁俊?0m3/h)稀釋?zhuān)瑫r(shí)關(guān)閉進(jìn)氣閥...
干式螺桿真空泵的材料選型需適配工況特性。轉(zhuǎn)子材料優(yōu)先選用**度鋁合金(如 6061-T6)或不銹鋼(如 316L):鋁合金重量輕(密度 2.7g/cm3),適合高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,減少電機(jī)負(fù)荷;316L 不銹鋼耐腐蝕性強(qiáng),適合含酸性、堿性氣體的工況,但密度大(7.98g/cm3),需匹配更大功率電機(jī)。泵腔材料多為灰鑄鐵(HT250)或球墨鑄鐵(QT400-15),鑄鐵材料成本低、加工性好,且具備一定耐磨性,內(nèi)壁經(jīng)淬火處理(硬度≥HRC50)可延長(zhǎng)使用壽命。此外,緊固件(螺栓、螺母)需采用不銹鋼材質(zhì)(如 304),避免生銹導(dǎo)致拆機(jī)困難,關(guān)鍵部位螺栓需涂抹耐高溫螺紋膠(耐溫 200℃...
干式螺桿真空泵的日常維護(hù)(每日)包括:檢查油位、傾聽(tīng)運(yùn)行噪音、觀察排氣狀態(tài);短期維護(hù)(每 200 小時(shí))包括:清潔進(jìn)氣過(guò)濾器、檢查冷卻系統(tǒng)、緊固緊固件;中期維護(hù)(每 1000 小時(shí))包括:更換潤(rùn)滑油、檢查密封件磨損、測(cè)量轉(zhuǎn)子間隙;長(zhǎng)期維護(hù)(每 5000 小時(shí))包括:拆機(jī)清洗泵腔、更換機(jī)械密封、檢測(cè)電機(jī)絕緣性能。定期維護(hù)需記錄維護(hù)日志,包括維護(hù)日期、維護(hù)項(xiàng)目、更換部件型號(hào)、測(cè)試數(shù)據(jù)(如抽速、極限壓力、噪音),便于追溯設(shè)備狀態(tài),預(yù)測(cè)故障風(fēng)險(xiǎn)。例如,若連續(xù)兩次維護(hù)中轉(zhuǎn)子間隙增大 0.1mm,需提前安排轉(zhuǎn)子更換,避免突發(fā)故障。螺桿泵運(yùn)行數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)便于分析。廣西螺桿真空泵維護(hù)保養(yǎng)螺桿真空泵運(yùn)行時(shí)的噪聲主...
航空航天部件(如衛(wèi)星姿態(tài)控制系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片)測(cè)試需螺桿真空泵提供 “超高真空”“高穩(wěn)定性”“低振動(dòng)” 的模擬環(huán)境,具體要求包括四項(xiàng)**指標(biāo)。一是極限真空度,需達(dá)到 10??Pa 以下,滿(mǎn)足太空真空環(huán)境模擬(地球軌道真空度約 10??Pa),可通過(guò)雙級(jí)螺桿泵串聯(lián)實(shí)現(xiàn);二是真空度穩(wěn)定性,連續(xù)運(yùn)行 1000 小時(shí)內(nèi),真空度波動(dòng)誤差≤±0.05Pa/h,確保測(cè)試數(shù)據(jù)重復(fù)性;三是設(shè)備振動(dòng)值,運(yùn)行時(shí)振動(dòng)速度≤2.0mm/s,避免振動(dòng)傳遞至測(cè)試部件(如精密傳感器)影響性能檢測(cè);四是長(zhǎng)周期運(yùn)行能力,需連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行≥1000 小時(shí),減少測(cè)試中斷(單次測(cè)試成本超百萬(wàn)元)。為滿(mǎn)足要求,設(shè)備需采用無(wú)接觸式轉(zhuǎn)子密...
螺桿真空泵日常維護(hù)需遵循 “分級(jí)保養(yǎng)、定期檢測(cè)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類(lèi)。每日檢查項(xiàng)目:監(jiān)測(cè)排氣溫度(正?!?40℃)、振動(dòng)值(≤2.8mm/s)與真空度穩(wěn)定性,檢查冷卻系統(tǒng)(水冷式需確認(rèn)水量≥5m3/h,風(fēng)冷式需清潔散熱片);每周維護(hù)項(xiàng)目:更換進(jìn)氣濾芯(過(guò)濾精度≤10μm),檢查密封件是否有泄漏痕跡,補(bǔ)充軸承潤(rùn)滑脂(用量為軸承內(nèi)部空間的 1/3-1/2);每季度深度保養(yǎng):拆解檢查轉(zhuǎn)子間隙(標(biāo)準(zhǔn) 0.05-0.1mm,超 0.15mm 需調(diào)整),清潔泵腔內(nèi)部殘留雜質(zhì),測(cè)試電機(jī)絕螺桿泵與渦輪分子泵可組合使用。吉林螺桿真空泵頭部企業(yè)/廠(chǎng)家密封系統(tǒng)是螺桿真空泵維持真空度的關(guān)鍵,失效多源于三類(lèi)...