廣東低噪聲羅茨真空泵

羅茨泵有效抽氣量 Qeff 是理論抽氣量 Qth 與間隙返流量 Qv 之差。理論抽氣量 Qth 與入口壓力 pA 和幾何抽速 Sth 相關(guān)，返流量 Qv 由轉(zhuǎn)子與泵體間隙泄漏量 Qv1 和轉(zhuǎn)子返流速率相關(guān)的 Qv2 組成，間隙泄漏量與流導 L、前級壓力 pV 有關(guān)，轉(zhuǎn)子返流則因轉(zhuǎn)子吸附和解吸氣體、有害空間氣體攜帶等。零流量壓縮比 K0 是重要性能參數(shù)，指泵口封閉時出口壓力與入口壓力比值，與氣體種類相關(guān)，有最大值 Komax。其值受出口壓力影響，在較高出口壓力時因間隙流導處于黏滯流態(tài)而下降，低出口壓力時受轉(zhuǎn)子返流影響也下降，在約 10?Pa 附近達最大值，且大容量羅茨泵 K0 更高。羅茨泵機組極限壓力 pA,e 由前級泵極限壓力 pv,e 與其對應(yīng)壓縮比 K0,e 之比求得，雙級羅茨泵壓縮比約為單級乘積，可獲更低極限壓力。羅茨真空泵轉(zhuǎn)速可達 3450~4100 轉(zhuǎn) / 分，轉(zhuǎn)子表面線速度接近氣體分子熱運動速度。廣東低噪聲羅茨真空泵

在半導體薄膜沉積工藝中，羅茨真空泵是真空系統(tǒng)的**組成部分。其需與干式前級泵組合使用，在工藝開始前快速將腔室壓力從大氣壓降至 10?3 mbar 以下，為薄膜生長創(chuàng)造潔凈真空環(huán)境。在 Low-E 玻璃鍍膜生產(chǎn)中，它能確保鍍膜過程中氣體組分穩(wěn)定，減少膜層缺陷，提升產(chǎn)品透光率與隔熱性能。由于半導體制造對真空度穩(wěn)定性要求極高，用于該領(lǐng)域的羅茨泵通常配備高精度壓力傳感器與閉環(huán)控制系統(tǒng)。半導體單晶硅長晶過程中，羅茨真空泵需提供大容量抽速，快速排出石英坩堝內(nèi)的惰性氣體與揮發(fā)物，維持爐內(nèi)穩(wěn)定的低壓環(huán)境。單晶硅生長對真空系統(tǒng)的連續(xù)性要求嚴苛，泵體需具備 24 小時連續(xù)運行能力，且故障停機時間需控制在分鐘級。為此，這類應(yīng)用中的羅茨泵通常采用冗余設(shè)計，并集成遠程監(jiān)控功能，可提前預(yù)警軸承磨損、密封老化等潛在故障。浙江干式螺桿羅茨真空泵本地廠家羅茨真空泵在半導體行業(yè)中，助力精密加工流程。

氣冷式直排大氣羅茨真空泵（簡稱氣冷羅茨泵），因特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計可平衡內(nèi)部壓縮熱，許用壓差達8.7×10^4Pa，能直接向大氣排氣，具備抽速大、耐壓高、無污染、低功耗的***優(yōu)勢。其應(yīng)用形式分為單泵與機組兩類，多數(shù)場景下會組合成氣冷羅茨機組以適配不同工況。在工作特性上，氣冷羅茨泵功耗與工作壓差呈線性關(guān)系，穩(wěn)定工作時壓差越小，長期功耗越低，選型時需按最大壓差匹配電機；作為主泵或中間泵時，低真空范圍可直接排氣，使機組抽速從大氣壓起就由其決定，大幅提升抽速；作為前級泵時，能替代油封泵、液封泵組成全羅茨機組，滿足無介質(zhì)污染的嚴苛要求，在多個工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用***。

羅茨真空泵又稱機械增壓泵，屬旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，**結(jié)構(gòu)包含泵殼與兩個 8 字型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子平行安裝在一對軸上，通過傳動比為 1 的同步齒輪驅(qū)動，實現(xiàn)等速反向旋轉(zhuǎn)，且轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間保持特定間隙不接觸，運轉(zhuǎn)時摩擦損失小、功率消耗低，可高速運轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子由泵殼兩側(cè)端蓋的滾動軸承支承，借助可調(diào)同步齒輪確保高速旋轉(zhuǎn)時的相對位置，固定端特殊結(jié)構(gòu)保障轉(zhuǎn)子與端蓋的端面間隙，使泵受熱時*向齒輪箱一端膨脹。兩側(cè)端蓋內(nèi)的四組聚四氟乙烯活塞環(huán)密封裝置，能防止油箱潤滑油進入泵腔，出軸處的平衡式機械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風冷，高壓力工況下推薦選用水冷結(jié)構(gòu)，電動機動力經(jīng)聯(lián)軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪帶動從動軸旋轉(zhuǎn)，ZJ 系列為臥式結(jié)構(gòu)，多采用聯(lián)軸器與電機直聯(lián)，特殊需求可選用三角帶傳動。ZJP 型是 ZJ 型的派生產(chǎn)品，抽氣原理相同，但進排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當進排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時，閥自動開啟，此數(shù)值為泵可靠運轉(zhuǎn)的比較高壓力差，使其具備過載自動保護功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級泵同步啟動，但系統(tǒng)容積大時，旁通閥開啟時間長，有效抽速小，經(jīng)濟性差，建議前級泵抽到一定壓力后再啟動 ZJP 型。羅茨真空泵在制藥領(lǐng)域，滿足無菌生產(chǎn)環(huán)境要求。

金屬粉末燒結(jié)需嚴格控制真空度以避免氧化與成分偏析，羅茨真空泵的干式無油特性與動態(tài)壓力調(diào)節(jié)能力完美契合這一需求。在不銹鋼、航天鈦合金粉末燒結(jié)中，其配套的實時漏率監(jiān)測系統(tǒng)可將漏率控制在 1×10?1?Pa?m3/s 以內(nèi)，確保燒結(jié)全程真空環(huán)境穩(wěn)定。升溫速率 5-15℃/min 可調(diào)的工藝中，羅茨真空泵能同步適配不同階段的抽氣需求：低溫階段快速抽除水分與易揮發(fā)雜質(zhì)，高溫階段則緩慢抽取合金內(nèi)部擴散出的氫、氮氣體，防止粉末團聚與成品疏松。燒結(jié)結(jié)束后，配合惰性氣體反充裝置，可實現(xiàn)快速冷卻，使零件致密度達到 98% 以上，滿足航天領(lǐng)域?qū)估瓘姸鹊膰揽烈蟆Ａ_茨真空泵屬變?nèi)菔秸婵毡?，依靠泵腔?nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用移動氣體實現(xiàn)抽氣。青海羅茨真空泵原理

羅茨真空泵噪音控制佳，符合車間環(huán)保噪音標準。廣東低噪聲羅茨真空泵

羅茨真空泵停機時，先關(guān)閉前級油封機械泵氣鎮(zhèn)閥（若運轉(zhuǎn)時開啟），再關(guān)閉羅茨泵進氣閥，隨后停羅茨泵，接著停前級泵，停前級泵的同時立即向其進氣口充入大氣，***關(guān)閉冷卻水進水閥。長時間停用或冬季為防凍裂，需放盡冷卻水套內(nèi)剩水，尤其北方地區(qū)。另外，羅茨真空泵的維護檢查需定期進行，每日檢查齒輪箱與軸承箱油位、各部位溫度及電機負荷；每月檢查聯(lián)軸器彈性體或三角膠帶張力；每季檢查齒輪箱潤滑油是否變質(zhì)；每半年檢查前蓋軸承箱潤滑油及機械密封狀況；每年檢查軸承、活塞環(huán)及襯套磨損情況，以及齒輪磨損對轉(zhuǎn)子工作的影響。拆裝時，未拆卸前需測量記錄主從動轉(zhuǎn)子各部位間隙，拆卸避免重錘敲打，零件需清洗保管并記錄更換情況；重裝前零件要修光毛刺并擦凈，無密封墊襯的靜密封平面涂“106”有機硅橡膠涂料，橡膠密封件涂真空脂，按原間隙調(diào)整轉(zhuǎn)子間隙，裝好后需檢漏、試運轉(zhuǎn)及性能測試，正常后方可投入使用。廣東低噪聲羅茨真空泵

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