羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，羅茨真空泵是芯片制造和封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。該環(huán)節(jié)對(duì)真空度、穩(wěn)定性和潔凈度要求極高，羅茨泵無(wú)油污染的特點(diǎn)可避免芯片被油蒸汽污染，穩(wěn)定的抽速能保證工藝環(huán)境真空度恒定，通常需搭配高真空前級(jí)泵組成機(jī)組，用于薄膜沉積、離子注入等**工序?；ば袠I(yè)中，羅茨泵廣泛應(yīng)用于物料輸送、混合及干燥過(guò)程。針對(duì)化工生產(chǎn)中的腐蝕性氣體，可采用耐腐蝕材質(zhì)制造的泵體，其大抽速特性能快速建立反應(yīng)所需的真空環(huán)境，縮短反應(yīng)周期。在真空蒸餾工藝中，它能有效降低物料沸點(diǎn)，避免熱敏性物質(zhì)分解，提升產(chǎn)品質(zhì)量和收率。羅茨真空泵設(shè)計(jì)合理，便于日常檢查與維護(hù)。羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)

羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，啟動(dòng)快，能立即工作。對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感，轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油，振動(dòng)小，驅(qū)動(dòng)功率小，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。這些特點(diǎn)使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等部門(mén)得到廣泛應(yīng)用。羅茨真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所，環(huán)境溫度為5-40℃，需水平安裝，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)和拆裝。接通電源后，電機(jī)轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。連接被抽容器的管道應(yīng)清潔，無(wú)雜質(zhì)等異物，孔徑不應(yīng)小于泵口口徑，長(zhǎng)度宜短，以保證足夠的通導(dǎo)能力，管道連接應(yīng)密封不漏。
羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)羅茨泵抽速與前級(jí)泵抽速關(guān)系，取決于容積效率和許可壓力差。

羅茨真空泵（簡(jiǎn)稱羅茨泵）是無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?，由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)。按工作壓力范圍，可分為直排大氣的干式真空泵、濕式羅茨泵、中真空羅茨泵（機(jī)械增壓泵）和高真空多級(jí)羅茨泵。它具有諸多***特點(diǎn)，在較寬壓力范圍內(nèi)抽速大，設(shè)有旁通溢流閥可在大氣壓力下啟動(dòng)以縮短抽氣時(shí)間，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵腔壁間有 0.15-1.0mm 間隙，無(wú)摩擦無(wú)需潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油，運(yùn)行平穩(wěn)噪聲低，結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小，臥式結(jié)構(gòu)利于排除灰塵或冷凝物。在真空工程中，羅茨泵常與前級(jí)泵（旋片泵、滑閥泵、水環(huán)泵等）串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組，雙級(jí)或多級(jí)機(jī)組可獲高真空，氣冷式機(jī)組適用于干式清潔無(wú)油系統(tǒng)，濕式機(jī)組適用于含水蒸氣系統(tǒng)。因其抽速高（可達(dá) 100000m3/h 以上）、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)，在冶金、石油化工、輕工造紙、電工電子、食品等工業(yè)部門(mén)應(yīng)用***。

為滿足半導(dǎo)體、電子工業(yè)等對(duì)無(wú)油清潔真空的需求，干式羅茨真空泵發(fā)展迅速，其中多級(jí)羅茨真空泵為主流，美日等國(guó)已開(kāi)發(fā)系列產(chǎn)品應(yīng)用于相關(guān)工業(yè)。“多級(jí)” 指在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級(jí)羅茨型轉(zhuǎn)子，各級(jí)由中間壁隔離形成**泵腔，通過(guò)氣流通道連接，各級(jí)轉(zhuǎn)子直徑和形狀相同，寬度向高壓側(cè)可能變窄，常采用氣冷式三葉轉(zhuǎn)子增加壓縮比。被抽氣體從***級(jí)進(jìn)氣口進(jìn)入，經(jīng)逐級(jí)壓縮后從***一級(jí)排氣口排出，理論抽速取決于***級(jí)，卻能實(shí)現(xiàn)高壓縮比，可直排大氣無(wú)需前級(jí)泵，避免油氣污染。3-6 級(jí)羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力 1Pa，高壓力差可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過(guò)熱，需在高壓段氣冷控制溫度，冷卻氣體返流會(huì)損失抽速。為防止?jié)櫥头盗?，泵腔與齒輪箱需隔離或密封，齒輪箱也可另設(shè)真空泵排氣，多級(jí)羅茨泵在無(wú)油清潔真空領(lǐng)域具有重要地位和廣闊應(yīng)用前景。羅茨泵多為臥式，兩轉(zhuǎn)子靠高精度齒輪同步旋轉(zhuǎn)，設(shè)旁路溢流閥防誤操作。

粉末冶金燒結(jié)脫氣是提升零件致密度的關(guān)鍵步驟，羅茨螺桿真空機(jī)組憑借干式無(wú)油特性成為主流配置。在不銹鋼粉末燒結(jié)過(guò)程中，該機(jī)組可將爐內(nèi)真空度控制在 0.1-0.03Pa，抽除粉末顆粒間的空氣與成型劑揮發(fā)物，避免燒結(jié)后零件出現(xiàn)內(nèi)部氣孔。對(duì)于含鋁、鈦等活潑元素的合金粉末，羅茨真空泵的快速抽氣能力（300-2500L/s）能在升溫至燒結(jié)溫度前去除爐內(nèi)氧氣，防止金屬元素氧化；保溫階段則動(dòng)態(tài)抽除合金內(nèi)部擴(kuò)散出的氫、氮?dú)怏w，使零件致密度提升至 98% 以上。其對(duì)粉塵與可凝性蒸汽的耐受性較強(qiáng)，無(wú)需復(fù)雜預(yù)處理即可直接抽除燒結(jié)產(chǎn)生的雜質(zhì)氣體，***降低生產(chǎn)維護(hù)成本。羅茨真空泵體積小巧，適合空間有限的生產(chǎn)車間。羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)

羅茨真空泵維護(hù)便捷，降低企業(yè)設(shè)備運(yùn)維難度。羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)

釹鐵硼稀土永磁體生產(chǎn)中，預(yù)燒結(jié)脫氣是提升磁性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，羅茨真空泵的高效抽氣能力貫穿全程。在連續(xù)真空預(yù)燒結(jié)設(shè)備中，裝有磁塊的料架依次通過(guò)多段脫氣室，羅茨真空泵在此過(guò)程中逐步抽除磁塊中的脫氫與成型劑殘留：***脫氣室去除表面吸附水，第二、三脫氣室在 500-900℃下深度抽除氫氣體，避免磁體燒結(jié)后出現(xiàn)氣泡缺陷。其與螺桿泵組成的機(jī)組極限壓力可達(dá) 0.03Pa，能有效處理磁塊脫氣產(chǎn)生的含膠粘結(jié)劑氣體，且干式運(yùn)行特性避免了油蒸汽污染磁體表面。脫氣后的磁塊進(jìn)入預(yù)燒結(jié)室時(shí)，羅茨真空泵仍維持穩(wěn)定抽氣，確保磁體晶粒均勻生長(zhǎng)，為后續(xù)時(shí)效處理奠定基礎(chǔ)。羅茨真空泵支持參數(shù)定制 提供安裝調(diào)試指導(dǎo)

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