國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵本地廠家

半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體（如 CF?、SF?）會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕，需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上，轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276，該材質(zhì)含鉬、鉻元素，對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍；泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層，厚度控制在 0.2-0.3mm，避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上，采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì)，在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳?，防止含氟氣體滲入密封系統(tǒng)。后處理上，排氣口連接活性炭吸附塔，吸附未反應(yīng)的氟化物，處理效率達(dá) 99.5%。水循環(huán)冷卻系統(tǒng)控制設(shè)備運(yùn)行溫度。國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵本地廠家

馬德寶干式螺桿真空泵通過(guò)結(jié)構(gòu)創(chuàng)新，將維護(hù)成本降至行業(yè)新低。其無(wú)摩擦副設(shè)計(jì)讓螺桿與泵體無(wú)磨損，避免傳統(tǒng)泵 “三大件易損壞” 的問(wèn)題；模塊化拆分設(shè)計(jì)使維修時(shí)無(wú)需整體拆解，**部件更換便捷，減少停機(jī)時(shí)間。日常使用中，無(wú)潤(rùn)滑油消耗、無(wú)皮帶更換需求，*需定期檢查冷卻液與過(guò)濾器，維護(hù)工作量較 H150 滑閥泵減少 70%。據(jù)測(cè)算，該系列真空泵平均使用壽命達(dá) 8-10 年，是傳統(tǒng)滑閥泵的 1.5 倍以上，長(zhǎng)期使用中，維修與能耗成本的節(jié)省，可快速覆蓋初期采購(gòu)成本差異。安徽羅茨螺桿真空泵食品行業(yè)螺桿泵需定期消毒處理。

馬德寶LGB150W 干式螺桿真空泵的極限真空可達(dá) 1Pa，抽氣速率穩(wěn)定保持 150L/S，峰值達(dá) 155L/S；搭載 11KW 永磁全封閉水冷電機(jī)，能耗較傳統(tǒng)泵降低 27%，且運(yùn)行噪音嚴(yán)格控制在 65 分貝以下，遠(yuǎn)低于行業(yè)平均水平。在***壓力 10000Pa 真空度區(qū)間，變頻運(yùn)行狀態(tài)下抽氣速率比 H150 滑閥泵高 10%，軸功率始終小于 11KW，同時(shí)進(jìn)氣口標(biāo)配粉塵過(guò)濾器，有效應(yīng)對(duì)含少量粉塵的復(fù)雜工況，兼顧高效與耐用。依托無(wú)油污染、耐腐蝕、高真空度的**優(yōu)勢(shì)，馬德寶干式螺桿真空泵適配多行業(yè)關(guān)鍵工藝。

螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋，設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配，羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍，避免因羅茨泵抽速過(guò)大導(dǎo)致螺桿泵過(guò)載，例如螺桿泵抽速 300m3/h 時(shí)，搭配 500-600m3/h 的羅茨泵**為適宜；二是壓力切換控制，設(shè)置壓力傳感器，當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵，防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過(guò)熱；三是管路優(yōu)化，采用大口徑（直徑≥DN80）無(wú)縫鋼管，減少管路阻力，同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥，防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng)，極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa，且抽氣時(shí)間縮短 40%，適配真空鍍膜、太空模擬等高精度場(chǎng)景。變頻螺桿泵可根據(jù)需求調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速。

雙螺桿轉(zhuǎn)子為**部件，型線多采用 “擺線 - 漸開(kāi)線” 組合設(shè)計(jì)，通過(guò)高精度同步齒輪驅(qū)動(dòng)，確保轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速一致（3000-6000r/min）且無(wú)接觸；泵腔采用耐磨鑄鐵或不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁經(jīng)精密加工保證粗糙度 Ra≤0.8μm，減少氣體流動(dòng)阻力；密封系統(tǒng)分靜密封（氟橡膠 O 型圈，耐溫 - 20-200℃）和動(dòng)密封（雙端面機(jī)械密封，配聚乙二醇輔助密封液），泄漏率可控制在以下。性能方面，該泵抽氣速率范圍為 10-1000m3/h，極限壓力可達(dá)10?3 Pa，能耗隨抽速線性增長(zhǎng)（如 100m3/h抽速對(duì)應(yīng)能耗約 15kW），噪音≤75dB。應(yīng)用上，在半導(dǎo)體刻蝕工藝中可穩(wěn)定處理 Cl?、F?氣體，在食品凍干中能保證無(wú)菌環(huán)境，在化工溶劑回收中避免溶劑油污染。3D NAND 制造需高抽速螺桿泵。浙江羅茨泵螺桿真空泵制造商

采用無(wú)接觸密封減少部件磨損。國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵本地廠家

螺桿真空泵的材質(zhì)選擇直接影響其適用范圍和使用壽命，尤其是在處理腐蝕性氣體的場(chǎng)景中（如化工、光伏行業(yè)），耐腐蝕材質(zhì)的應(yīng)用至關(guān)重要。目前，主流螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子多采用不銹鋼 316L材質(zhì)，該材質(zhì)具有優(yōu)異的耐酸堿、耐氧化性能，能有效抵抗化工生產(chǎn)中常見(jiàn)的鹽酸、硫酸、氨氣等腐蝕性氣體的侵蝕，延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子的使用壽命。泵殼內(nèi)壁則通常采用環(huán)氧樹(shù)脂涂層或聚四氟乙烯襯里，進(jìn)一步增強(qiáng)耐腐蝕能力，同時(shí)減少氣體在泵內(nèi)的殘留和吸附。對(duì)于處理強(qiáng)腐蝕性氣體（如氟化物）的特殊場(chǎng)景，部分廠家還會(huì)采用哈氏合金等**耐腐蝕材質(zhì)，雖然成本有所提升，但能確保設(shè)備在惡劣工況下穩(wěn)定運(yùn)行，避免因材質(zhì)腐蝕導(dǎo)致的設(shè)備故障和生產(chǎn)中斷。國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵本地廠家

馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度，多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在浙江省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績(jī)讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力，馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái)，回首過(guò)去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來(lái)！