浙江馬德寶羅茨真空泵廠

碳化硅外延工藝需在超潔凈低壓環(huán)境中進行，羅茨真空泵的無油污染與精細控壓特性使其成為**設(shè)備。在外延爐預處理階段，其與分子泵串聯(lián)使用，可將爐內(nèi)真空度提升至 10??Pa，抽除襯底表面吸附的氧、氮雜質(zhì)，保障外延層質(zhì)量。外延生長階段，羅茨真空泵能精確控制反應室壓力在 1-10Pa，配合氣體流量控制系統(tǒng)，實時抽除未反應的硅烷、氫氣等原料氣體，避免多余氣體沉積影響外延層厚度均勻性。對于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可實現(xiàn)反應氣體快速置換，縮短工藝周期；其 IoT 傳感器還能實時監(jiān)測抽氣速率與壓力變化，實現(xiàn)預測性維護，減少設(shè)備停機時間。羅茨泵轉(zhuǎn)子對稱，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)噪聲低，結(jié)構(gòu)緊湊，多為臥式利于排雜物。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

羅茨真空泵又稱機械增壓泵，屬旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，**結(jié)構(gòu)包含泵殼與兩個 8 字型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子平行安裝在一對軸上，通過傳動比為 1 的同步齒輪驅(qū)動，實現(xiàn)等速反向旋轉(zhuǎn)，且轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間保持特定間隙不接觸，運轉(zhuǎn)時摩擦損失小、功率消耗低，可高速運轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子由泵殼兩側(cè)端蓋的滾動軸承支承，借助可調(diào)同步齒輪確保高速旋轉(zhuǎn)時的相對位置，固定端特殊結(jié)構(gòu)保障轉(zhuǎn)子與端蓋的端面間隙，使泵受熱時*向齒輪箱一端膨脹。兩側(cè)端蓋內(nèi)的四組聚四氟乙烯活塞環(huán)密封裝置，能防止油箱潤滑油進入泵腔，出軸處的平衡式機械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風冷，高壓力工況下推薦選用水冷結(jié)構(gòu)，電動機動力經(jīng)聯(lián)軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪帶動從動軸旋轉(zhuǎn)，ZJ 系列為臥式結(jié)構(gòu)，多采用聯(lián)軸器與電機直聯(lián)，特殊需求可選用三角帶傳動。ZJP 型是 ZJ 型的派生產(chǎn)品，抽氣原理相同，但進排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當進排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時，閥自動開啟，此數(shù)值為泵可靠運轉(zhuǎn)的比較高壓力差，使其具備過載自動保護功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級泵同步啟動，但系統(tǒng)容積大時，旁通閥開啟時間長，有效抽速小，經(jīng)濟性差，建議前級泵抽到一定壓力后再啟動 ZJP 型。北京水冷式羅茨真空泵羅茨泵腔內(nèi)無需用油密封潤滑，減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染，適配食品、醫(yī)藥等對潔凈度要求高的行業(yè)。

鈦合金砂型鑄造需嚴格控制鑄型與熔煉環(huán)境的真空度，羅茨真空泵是**真空設(shè)備。在大型鈦合金泵體鑄型制備中，其先對鋁礬土填料與氧化釔涂料組成的鑄型進行預抽真空，抽除型腔內(nèi)的空氣與水分，避免澆注時產(chǎn)生氣孔缺陷；抽速可達 2900rpm 的轉(zhuǎn)子能快速將鑄型內(nèi)壓力降至 5Pa 以下，保障鑄型透氣性與致密性。在真空自耗凝殼爐熔煉澆注階段，羅茨真空泵與機械泵串聯(lián)使用，將爐內(nèi)真空度維持在 10?3Pa，抽除熔煉過程中產(chǎn)生的氣體雜質(zhì)，提升鈦合金純凈度。澆注后配合氬氣反充系統(tǒng)，實現(xiàn)快速冷卻，使鑄件表面光潔度達到 6.3μm，尺寸精度滿足 CT9 級要求。

按冷卻方式劃分，羅茨真空泵可分為風冷式與水冷式。風冷式采用電機集成散熱設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，無需外部冷卻回路，在熱處理、食品包裝等領(lǐng)域應用***。其優(yōu)勢在于安裝便捷、運行成本低，且能適應移動工況需求。水冷式則適用于抽速超過 2000 m3/h 的大型設(shè)備，通過強制水冷維持腔體溫度在 60℃以下，確保高負荷運行時的穩(wěn)定性，常見于半導體長晶、大型鍍膜等工業(yè)場景。按結(jié)構(gòu)級數(shù)可分為單級與雙級羅茨真空泵。單級泵結(jié)構(gòu)簡單，由一組轉(zhuǎn)子組成，抽速范圍通常為 100-2000 m3/h，適合對真空度要求不高的一般工業(yè)應用。雙級泵則串聯(lián)兩組轉(zhuǎn)子，通過兩級壓縮提升極限真空度，可達到 10?? mbar 級別，同時降低排氣溫度。雙級結(jié)構(gòu)在半導體制造、真空蒸餾等**領(lǐng)域更為常見，能滿足高精度工藝對真空環(huán)境的嚴苛要求。羅茨泵適配真空干燥工藝，處理熱敏性溴化、氯化產(chǎn)品，避免高溫破壞有效成分，無油污染符合 GMP 要求。

碳化硅單晶生長對真空環(huán)境的極限壓力與穩(wěn)定性要求嚴苛，羅茨真空泵通過與渦輪分子泵聯(lián)用滿足工藝需求。在單晶爐升溫階段，其先將爐內(nèi)壓力從大氣壓快速降至 103Pa，抽除爐腔殘留空氣與水分；隨著溫度升至 2000℃以上，羅茨真空泵接力抽氣，配合液氮冷阱將壓力進一步降至 10??Pa，為碳化硅晶體生長提供超高真空環(huán)境。其 6000rpm 以上的高轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)子能快速抽除晶體生長過程中釋放的硅蒸汽與雜質(zhì)氣體，減少單晶缺陷；動態(tài)壓力調(diào)節(jié)能力可應對生長過程中的突發(fā)氣體釋放，抽速波動率＜5%，保障晶體尺寸均勻性與電學性能。該設(shè)備還具備耐腐蝕涂層，能耐受碳化硅生長環(huán)境中的微量腐蝕性氣體，延長使用壽命。羅茨真空泵在制藥領(lǐng)域，滿足無菌生產(chǎn)環(huán)境要求。吉林馬德寶羅茨真空泵

羅茨真空泵能在低入口壓強下將氣體攜帶至排氣口，由前級泵排除。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

羅茨真空泵啟動迅速是其**優(yōu)勢，設(shè)備能在短時間內(nèi)達到所需真空狀態(tài)，縮短工藝準備時間。結(jié)構(gòu)上具有緊湊簡潔的特點，零部件數(shù)量相對較少，運維難度較低，維護費用也更為經(jīng)濟。但與之對應的是，其對加工精度要求極高，轉(zhuǎn)子與殼體的間隙控制需精細，裝配難度較大，這也提升了制造門檻。節(jié)能性能突出是羅茨泵的重要特性。因無接觸摩擦，機械損失小，能以較低的動力輸入獲得較大的抽速，能源利用效率高。此外，設(shè)備運行時噪音相對較小，對工作環(huán)境影響較低。不過其存在明顯局限性，如壓縮比低，單獨使用無法獲得高真空，且抽除氫氣等輕質(zhì)氣體的效果不及油增壓泵。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

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