新戊烷超高純氣體半導(dǎo)體制造

上海彌正秉持綠色制造理念，打造環(huán)保型超高純氣體解決方案，從生產(chǎn)、使用到回收全流程降低環(huán)境影響。生產(chǎn)過(guò)程采用節(jié)能型提純?cè)O(shè)備，能耗較傳統(tǒng)設(shè)備降低 25%，同時(shí)利用余熱回收系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)能源循環(huán)利用；氣體使用后，通過(guò)特用回收裝置回收反應(yīng)尾氣，如三氟化氮?dú)怏w回收率達(dá) 67%，經(jīng)處理后可重新用于下游生產(chǎn)，降低資源浪費(fèi)與環(huán)境排放。所有氣體包裝材料均采用可回收不銹鋼材質(zhì)，回收率達(dá) 95% 以上，減少固體廢棄物產(chǎn)生；生產(chǎn)車(chē)間配備廢氣處理系統(tǒng)，確保廢氣排放符合國(guó)家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)有害氣體泄漏。為客戶(hù)提供環(huán)保使用指導(dǎo)，優(yōu)化氣體使用工藝，降低單位產(chǎn)品氣體消耗量，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn) “雙碳” 目標(biāo)。某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用該環(huán)保方案后，年氣體消耗量降低 10%，廢棄物排放減少 30%，成功通過(guò) “綠色工廠” 認(rèn)證，環(huán)保與經(jīng)濟(jì)效益雙贏。超高純甲烷（雜質(zhì)≤0.5ppm）是半導(dǎo)體刻蝕工藝的關(guān)鍵氣體。新戊烷超高純氣體半導(dǎo)體制造

上海彌正深耕國(guó)產(chǎn)超高純氣體研發(fā)與生產(chǎn)，打破國(guó)際巨頭在品類(lèi)的壟斷，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供關(guān)鍵材料支撐。針對(duì)國(guó)內(nèi)高度依賴(lài)進(jìn)口的 7N 級(jí)電子級(jí)氟化物、硅烷等品類(lèi)，公司通過(guò)自主研發(fā)攻克重心提純技術(shù)，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，產(chǎn)品純度達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，雜質(zhì)控制精度進(jìn)入 ppt 級(jí)別，并成功通過(guò)中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等頭部晶圓廠的驗(yàn)證認(rèn)證。相較于進(jìn)口產(chǎn)品，公司產(chǎn)品在供應(yīng)響應(yīng)速度、成本控制及技術(shù)服務(wù)方面更具優(yōu)勢(shì)，可實(shí)現(xiàn)訂單 48 小時(shí)內(nèi)快速響應(yīng)，交貨周期縮短 50%，成本降低 20-30%。積極參與國(guó)家 “十四五” 新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃重點(diǎn)項(xiàng)目，推動(dòng)超高純氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的修訂與完善，目前已主導(dǎo)或參與 3 項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定。某半導(dǎo)體企業(yè)使用其國(guó)產(chǎn)替代型超高純?nèi)?，不僅擺脫了對(duì)進(jìn)口氣體的依賴(lài)，還將相關(guān)工藝的材料成本降低 25%，供應(yīng)鏈穩(wěn)定性明顯增強(qiáng)，為實(shí)現(xiàn)芯片國(guó)產(chǎn)化提供了有力保障。浙江氪氣超高純氣體芯片制造超高純氘氣（純度 99.999%）用作核磁共振成像的造影氣體。

上海彌正超高純氦氣（6N 級(jí)純度），是檢漏、低溫超導(dǎo)、氣相色譜分析等場(chǎng)景的關(guān)鍵氣體，以 “高純度 + 低沸點(diǎn)” 發(fā)揮獨(dú)特作用。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣等雜質(zhì)含量控制在 0.2ppb 以下，低于 - 85℃，能在極低溫度下保持氣態(tài)，無(wú)凝固風(fēng)險(xiǎn)。在工業(yè)檢漏領(lǐng)域，用于精密設(shè)備、管道與容器的氣密性檢測(cè)，檢漏靈敏度達(dá) 1×10?12Pa?m3/s，確保檢測(cè)準(zhǔn)確性；在低溫超導(dǎo)領(lǐng)域，用于超導(dǎo)磁體冷卻，維持超導(dǎo)材料的超導(dǎo)狀態(tài)，支持核磁共振（NMR）與粒子加速器的正常運(yùn)行；在氣相色譜分析中，作為載氣可提升分析精度與分離效率。配備高壓氣瓶與減壓閥，氣體輸出壓力穩(wěn)定，流量控制精度達(dá) ±0.5%。某精密制造企業(yè)應(yīng)用后，設(shè)備檢漏合格率提升至 100%，泄漏故障減少 90%；某科研機(jī)構(gòu)使用后，超導(dǎo)磁體運(yùn)行穩(wěn)定性提升，核磁共振檢測(cè)精度提高，完全滿足工業(yè)與科研領(lǐng)域的需求。

上海彌正便攜式超高純氣體套裝，專(zhuān)為現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)、應(yīng)急救援、野外科研等移動(dòng)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，以 “小巧便攜 + 即開(kāi)即用” 提供靈活的超高純氣體支持。套裝包含 1-10L 不同規(guī)格的小型高壓氣瓶，配備輕量化的減壓閥、流量控制器與連接軟管，整體重量但 2-5kg，便于攜帶與運(yùn)輸。提供的氣體純度達(dá) 5N-6N 級(jí)，涵蓋氮?dú)?、氬氣、氫氣、?biāo)準(zhǔn)混合氣等多種類(lèi)型，可滿足不同場(chǎng)景需求：在環(huán)境監(jiān)測(cè)中，作為氣相色譜儀的載氣；在應(yīng)急救援中，超高純氧氣用于高原或密閉空間的急救；在野外科研中，作為精密儀器的校準(zhǔn)氣體。氣瓶采用強(qiáng)度高鋁合金材質(zhì)，安全性能符合 GB 5099 標(biāo)準(zhǔn)，配備一次性使用的密封接口，防止氣體污染。某環(huán)境監(jiān)測(cè)站使用該套裝進(jìn)行野外水質(zhì)樣品檢測(cè)，檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性與實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)一致性達(dá) 99%；某應(yīng)急救援隊(duì)伍配備后，在多次密閉空間救援中，成功為被困人員提供高純度氧氣，救援效率與安全性大幅提升。超高純氨氣用于化學(xué)氣相沉積，制備高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜。

上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對(duì)半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實(shí)現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶(hù)創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)與環(huán)境雙重價(jià)值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過(guò)低溫冷凝、吸附分離與精密過(guò)濾等多級(jí)處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級(jí)純度，回收利用率比較高可達(dá) 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費(fèi)并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶(hù)氣體采購(gòu)成本降低 40%，同時(shí)大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運(yùn)維服務(wù)” 的整體解決方案，根據(jù)客戶(hù)生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類(lèi)，設(shè)計(jì)專(zhuān)屬回收流程，配備專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)系統(tǒng)安裝、調(diào)試與定期維護(hù)，并提供回收氣體的質(zhì)量檢測(cè)報(bào)告。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用該系統(tǒng)后，年節(jié)省氣體采購(gòu)費(fèi)用超 600 萬(wàn)元，工藝尾氣排放量減少 80%，順利通過(guò) ISO 14064 碳足跡核查，實(shí)現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)保責(zé)任的統(tǒng)一。超高純氟化氫經(jīng)嚴(yán)格提純，適配半導(dǎo)體先進(jìn)制程清洗需求。新戊烷超高純氣體半導(dǎo)體制造

超高純氟化氫（雜質(zhì)≤0.1ppm）用于半導(dǎo)體晶圓清洗，去除表面污染物。新戊烷超高純氣體半導(dǎo)體制造

上海彌正創(chuàng)新推出 “現(xiàn)場(chǎng)制氣 + 純化” 一體化服務(wù)模式，為半導(dǎo)體、光伏等大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)企業(yè)提供高效、節(jié)能、穩(wěn)定的超高純氣體供應(yīng)，顛覆傳統(tǒng)瓶裝運(yùn)輸模式。根據(jù)客戶(hù)的氣體需求量與純度要求，在客戶(hù)廠區(qū)內(nèi)搭建小型化、模塊化的制氣與純化裝置，可現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)氮?dú)?、氬氣、氫氣等基礎(chǔ)氣體，并通過(guò)集成的提純系統(tǒng)將其升級(jí)至 5N-7N 級(jí)超高純標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)氣體的 “即產(chǎn)即用”。該模式省去了氣瓶運(yùn)輸、存儲(chǔ)與更換的繁瑣流程，不僅大幅降低了運(yùn)輸成本與碳排放，還徹底避免了長(zhǎng)途運(yùn)輸可能導(dǎo)致的氣體污染與純度衰減風(fēng)險(xiǎn)。配備遠(yuǎn)程監(jiān)控與智能運(yùn)維系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與氣體純度，確保 24 小時(shí)穩(wěn)定供應(yīng)，運(yùn)維響應(yīng)時(shí)間≤2 小時(shí)。某大型光伏企業(yè)應(yīng)用該模式后，超高純氫氣的供應(yīng)成本降低 35%，氣體純度穩(wěn)定性提升至 99.99%，年減少運(yùn)輸相關(guān)碳排放超 2000 噸，生產(chǎn)連續(xù)性得到有力保障。新戊烷超高純氣體半導(dǎo)體制造

上海彌正氣體有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明，攜手共畫(huà)藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的電工電氣行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶(hù)粉絲源，也收獲了良好的用戶(hù)口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來(lái)公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海彌正氣體供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績(jī)，一直以來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上！