廣西水環(huán)式真空機(jī)組

渦輪分子泵機(jī)組是目前能夠達(dá)到超高真空的主要設(shè)備之一，其較高真空度可達(dá)10?11Pa。渦輪分子泵通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的葉片（轉(zhuǎn)速可達(dá)24000-60000r/min）與氣體分子發(fā)生碰撞，將氣體分子推向排氣口，實(shí)現(xiàn)抽氣。由于其工作不依賴工作介質(zhì)的密封，而是通過(guò)分子動(dòng)量傳遞，理論上可以達(dá)到極高的真空度。渦輪分子泵機(jī)組通常需要旋片泵或干泵作為前級(jí)泵，前級(jí)泵先將系統(tǒng)壓力抽到10?1Pa以下，為渦輪分子泵的啟動(dòng)和穩(wěn)定運(yùn)行創(chuàng)造條件。在實(shí)際應(yīng)用中，渦輪分子泵機(jī)組的較高真空度還受到系統(tǒng)放氣、材料出氣等因素的影響，但在經(jīng)過(guò)充分烘烤除氣等處理的系統(tǒng)中，完全可以達(dá)到10?11Pa的超高真空，滿足半導(dǎo)體芯片制造、高能物理實(shí)驗(yàn)、航天模擬等品質(zhì)領(lǐng)域的需求。華中真空設(shè)備銷售網(wǎng)絡(luò)遍及全國(guó)各地，產(chǎn)品已在市場(chǎng)享有較高的美譽(yù)度，并得到了各地廣大用戶的好評(píng)與認(rèn)可。廣西水環(huán)式真空機(jī)組

渦輪分子泵-旋片泵組合機(jī)組，適配真空度：10?1-10??Pa（極限約10??Pa），重點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：可抽除輕氣體（氫氣抽速為氮?dú)獾?0%），無(wú)油污染（適合精密工藝），典型應(yīng)用：半導(dǎo)體濺射鍍膜（需10??-10??Pa）、電子顯微鏡（需10??-10??Pa），選型注意：轉(zhuǎn)速需達(dá)24000r/min以上（保證分子碰撞效率），前級(jí)真空需≤10?1Pa。超高真空是嚴(yán)苛的真空環(huán)境，需將氣體分子密度降至10?-103個(gè)/cm3（標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下約2.7×101?個(gè)/cm3）。選型重點(diǎn)要求：極限真空：主泵極限需＜10??Pa（如渦輪分子泵極限10?11Pa）；較低放氣率：機(jī)組材料需選不銹鋼（放氣率＜10??Pa?m3/(s?m2)），并經(jīng)電化學(xué)拋光；長(zhǎng)期穩(wěn)定性：連續(xù)運(yùn)行30天真空度波動(dòng)＜±20%。北京真空機(jī)組價(jià)格淄博華中真空設(shè)備有限公司精心組織，全心管理，嚴(yán)格執(zhí)行產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

同時(shí)，材料的放氣率也會(huì)增加，從而增加氣體負(fù)載，不利于較高真空度的實(shí)現(xiàn)。因此，在高精度真空應(yīng)用中，通常需要對(duì)真空機(jī)組和系統(tǒng)進(jìn)行恒溫控制，以減少溫度變化對(duì)真空度的影響。環(huán)境濕度較高時(shí)，空氣中的水蒸氣含量大，這些水蒸氣會(huì)進(jìn)入真空系統(tǒng)，增加可凝性氣體的負(fù)載。水蒸氣在系統(tǒng)內(nèi)凝結(jié)后，還會(huì)影響密封性能和泵的工作效率。因此，在潮濕環(huán)境中，需要在真空機(jī)組的進(jìn)氣口安裝干燥裝置，去除空氣中的水分，以提高系統(tǒng)的真空性能。大氣壓力的變化對(duì)真空機(jī)組的較高真空度影響相對(duì)較小，但在一些對(duì)真空度精度要求極高的場(chǎng)合（如計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置），需要考慮大氣壓力變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，并進(jìn)行相應(yīng)的修正。

腐蝕性氣體（如氯氣、氟化氫）：會(huì)加速金屬部件腐蝕（軸承、波紋管）和橡膠老化（O型圈），更換周期需縮短50%-60%。某氯堿廠的水環(huán)泵在處理濕氯氣時(shí)，機(jī)械密封壽命從15000小時(shí)降至6000小時(shí)，且必須改用全氟醚密封件；含塵氣體（＞50mg/m3）：粉塵會(huì)加劇軸承和轉(zhuǎn)子磨損，過(guò)濾元件更換周期需縮短至1/3-1/2。某礦山的真空機(jī)組因粉塵濃度達(dá)200mg/m3，進(jìn)氣過(guò)濾器更換周期從800小時(shí)縮至200小時(shí)；可凝性氣體（如蒸氣、有機(jī)溶劑）：易在密封面凝結(jié)，導(dǎo)致密封件溶脹（橡膠）或結(jié)垢（機(jī)械密封），更換周期需縮短40%-50%。華中真空設(shè)備與客戶攜手共進(jìn)，合作共贏，創(chuàng)造更加美好的明天！

采用先進(jìn)的密封技術(shù)和高質(zhì)量的密封材料，提高真空系統(tǒng)的密封性。在管道連接、閥門安裝等部位，選用性能優(yōu)良的密封件（如氟橡膠密封圈、金屬密封件等），并保證密封面的加工精度和光潔度。同時(shí)，在系統(tǒng)安裝完成后，進(jìn)行嚴(yán)格的檢漏工作，采用氦質(zhì)譜檢漏儀等高精度檢漏設(shè)備，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修復(fù)泄漏點(diǎn)，將系統(tǒng)泄漏率控制在極低的水平（通常要求泄漏率小于10?1?Pa?m3/s）。定期對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，檢查密封件的狀態(tài)，及時(shí)更換老化或損壞的密封件，防止因密封失效導(dǎo)致的泄漏。對(duì)于長(zhǎng)期運(yùn)行的真空系統(tǒng)，還可以采用定期烘烤的方式，去除密封件表面吸附的氣體和水分，恢復(fù)其密封性能。淄博華中真空設(shè)備有限公司竭誠(chéng)希望得到各界朋友的支持與合作，歡迎廣大朋友光臨惠顧！廣西水環(huán)式真空機(jī)組

山東華中始終堅(jiān)持不懈的進(jìn)行著產(chǎn)品的研發(fā)與創(chuàng)新，注重產(chǎn)品的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。廣西水環(huán)式真空機(jī)組

超高真空機(jī)組：針對(duì)超高真空度（10^-6-10^-12Pa），如半導(dǎo)體制造中的光刻設(shè)備，需采用多級(jí)泵組合，如機(jī)械泵-渦輪分子泵-離子泵。先由機(jī)械泵預(yù)抽，再經(jīng)渦輪分子泵提升真空度，之后啟動(dòng)離子泵，將真空度提升至10^-9-10^-12Pa。工作時(shí)，各泵按嚴(yán)格順序啟動(dòng)，且運(yùn)行過(guò)程中需精確控制，防止外界氣體進(jìn)入，保證光刻過(guò)程中芯片制造精度。真空泵性能是決定真空機(jī)組真空度關(guān)鍵因素。不同類型真空泵極限真空度和抽氣速率差異明顯。如旋片泵極限真空度一般在10^-2-10^-3Pa，抽氣速率相對(duì)較小；而渦輪分子泵極限真空度可達(dá)10^-11Pa，抽氣速率大。廣西水環(huán)式真空機(jī)組