金屬表面處理真空鍍膜真空度無法達到設(shè)定值怎么處理？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜時真空度無法降到設(shè)定值，先逐級排查：1) 用氦質(zhì)譜檢漏，重點查法蘭、觀察窗、電極引入，漏率＞1×10???Pa·m3/s即換密封圈；2) 檢查前級泵油是否乳化或缺油，必要時換新油并開氣鎮(zhèn)30 min排水汽；3) 拆洗擴散泵/分子泵葉片及冷卻帽，積碳油膜會降低抽速30%以上；4) 腔壁或擋板沉積層過厚，放氣面積增大，用Ar等離子體原位刻蝕10 min或濕擦烘干；5) 確認MFC無內(nèi)漏，關(guān)閉所有進氣閥觀察壓升率，應(yīng)＜0.5 Pa·h?1；6) 檢查真空計規(guī)管是否老化，校準零點。經(jīng)上述金屬表面處理維護，本底可恢復(fù)至≤5×10???Pa，成膜質(zhì)量與重復(fù)性達標，保障連續(xù)金屬表面處理真空鍍膜生產(chǎn)，降低金屬表面處理停線損失。

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